
- Voll integriertes und automatisiertes Wafer Alignement und Bonding System für Substrate bis zu 8 Zoll.
SCHNEEBERGER Linearführungen und Miniaturführungen Typ MINIRAIL in der Halbleiter- und Elektronikindustrie
Anforderungen:
Die Schaltungen in der Halbleiter- und Elektronikindustrie werden andauernd komprimiert. Im selben Masse erhöhen sich die Anforderungen an die Ablauf- und Positioniergenauigkeit der Linearachsen in den dafür verwendeten Produktions- und Kontrollsystemen. Als Folge des erhöhten Konkurrenzdrucks steigt auch der Kostendruck für die Hersteller solcher Komplettanlagen. Einer unserer Kunden auf diesem Gebiet ist ein führender Hersteller von Laser Interferometer u. A. für Messungen / Kontrolle von integrierten Schaltungen.
SCHNEEBERGER- Lösung:
Standard Linearführungen wurden mit „high quality“ Schneeberger MINIRAIL Führungen ersetzt.
Vorteile:
Die durch den Kunden jeweils bei jeder Achse vorzunehmende Einstellung der Vorspannung entfiel und damit wurde auch eine immer gleichbleibende Vorspannung / erhöhte Genauigkeit erreicht. Gleichzeitig konnte der Montageaufwand erheblich reduziert und somit Kosten eingespart werden.




