CFK-Komponenten in SCHNEEBERGER Positioniersystemen

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CFK-Komponenten in Positioniersystemen

SCHNEEBERGER entwickelt Positioniersystem für den Einsatz in der Wafer-Produktion. Aufgrund höchst anspruchsvoller Kundenanforderungen hat SCHNEEBERGER verschiedene Lösungen mit CFK-Komponenten erarbeitet. Ein Beispiel ist das neue Double Gantry System. Highlights sind die Achsanordnung und der Einsatz von Verbundwerkstoffen. Dadurch sollen sich die Positioniergeschwindigkeiten im Vergleichzu bisherigen Systemen verdoppeln lassen.

CFK im Einsatz in hochdynamischen Präzisionsachsen

Die Chipherstellung erfolgt über einen lithografischen Schichtaufbau auf einer Silizium-Scheibe (Wafer) im Reinraum.
Zur Qualitätssicherung werden im Herstellungsprozess regelmässig kritische Dimensionen geprüft (Wafer-Metrology). Diese Messungen prüfen Dimensionen <20nm.
Der Wafer wird dazu unter dem Messinstrument mittels einem Positioniersystems bewegt. Die Entwicklung und Herstellung dieser Positioniersysteme ist die Aufgabe der Business Unit Systems.

Systeme Film

Das Bedürfnis unserer Kunden:
Zuverlässige und präzise Produkte.

Unsere Lösung:
Massgeschneiderte Systeme, von Einzelachsen mit integrierten Steuerungseinheiten bis hin zu hochkomplexen Maschinen.

SCHNEEBERGER Übersicht Linearführungen und Postioniersysteme

Fachartikel/Anwendungsbeispiele

Pressemitteilungen

Vorteile vom CFK- Komponenten

  • 30% Reduktion der bewegten Masse
  • Spezifische Steifigkeit der Bauteile um Faktor 2.5 erhöht
  • 40% höhere 1. Eigenfrequenz des Systems
  • 30% geringere M&S Zeit (Move & Settle Time)
  • Erforderliche Bauteiltoleranzen eingehalten (z.B. Parallelität)
  • System-Spezifikationen können sicher eingehalten werden (z.B. Drift)

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Adrian Raible


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