Vakuum

Vacuum positioning systems

Vielen Dank für Ihr Interesse an SCHNEEBERGER-Produkte. Gerne werden wir Sie kontaktieren, um Ihre Produktanforderungen zu besprechen. Lösungsvorschläge zu besprechen. Bitte senden Sie uns Ihre Anfrage. Wir melden uns gerne bei Ihnen.

EUV, Ausgasung, Pumpzeit, Stabilität und magnetische Störungen sind die Hauptpunkte, die beim Entwurf eines Vakuumsystems berücksichtigt werden müssen. Dazu kommen alle anderen Schlüsselparameter, die für eine perfekte Bewegungslösung für Ihre anspruchsvollen Umgebungen und Leistungen relevant sind.

Unsere Systeme können bei Unterdruck bis zu 10^9 mbar eingesetzt werden. Dies ermöglichen spezielle Komponenten, wie Linearantriebe (einschl. besonderer Abschirmung), Einheiten mit Piezoantrieb sowie besondere Kabel.

Alle relevanten Fertigungsteile (Aluminium bzw. Edelstahl) werden intern hergestellt, um die Reinheit und Ausgasung perfekt kontrollieren zu können.

Alle Vakuumsysteme werden in unserem Reinraum montiert, geprüft und verpackt. Dieser wurde speziell auf unseren Produktionsrhythmus angepasst.

Beispielspezifikationen für „Vakuumsysteme“ am POI*

  • Konfiguration:  XYZT oder + Z (Neigung?)
  • Verfahrweg:  bis zu 400 x 500 mm
  • Genauigkeit: ≤ 10 µm (über den gesamten Messbereich, gemappt)
  • Reproduzierbarkeit: ≤ 0,1 µm
  • Stabilität:  ≤ 2 nm (innerhalb von 1s ptp)
  • Einschwingzeit: < 120 ms für 25 mm
  • Cst-Geschwindigkeit: < 0,01 % bei <100 mm/s
  • Geradheit: < 5 µm über 300 mm
  • Ebenheit:  < 5 µm über 300 mm

*Interessensfokus

Systeme Film

Das Bedürfnis unserer Kunden:
Zuverlässige und präzise Produkte.

Unsere Lösung:
Massgeschneiderte Systeme, von Einzelachsen mit integrierten Steuerungseinheiten bis hin zu hochkomplexen Maschinen.

SCHNEEBERGER Übersicht Linearführungen und Postioniersysteme

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