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Système de positionnement révolutionnaire Twin Gantry

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Vitesse de positionnement deux fois plus rapide pour les applications suivantes :

Twin Gantry

Téléphones mobiles, tablettes, ordinateurs portables et bien plus. Les produits électroniques du quotidien sont toujours plus performants et/ou plus petits. La raison : les puces semi-conductrices dont la miniaturisation ne semble avoir aucune limite. Afin de pouvoir placer et tester des structures (autoroutes de données) dans les pièces électroniques les plus petites, il faut s'équiper d'installations dont la précision de mouvement relève du domaine micrométrique et nanométrique. De plus, les grands fabricants de puces attendent une dynamique des plus élevées car celle-ci a un impact direct sur le résultat à produire. Afin de satisfaire le mieux possible aux exigences, il faut que les installations de production et de test soient équipées d'unités de positionnement performantes, en plus du système optique. Elles veillent à ce que les wafers équipés de centaines de puces soient positionnés de manière rapide et précise.

Les axes x et y sont découplés l'un de l'autre

Le principe technique décisif reflète déjà le nom Twin Gantry : deux axes Gantry sont utilisés. Les axes X et Y sont découplés l'un de l'autre. Cela est possible du fait qu'ils sont placés en croix et qu'ils peuvent être déplacés, indépendamment l'un de l'autre, par plusieurs rails de guidage. Grâce à la nouvelle structure, l'axe inférieur ne doit pas supporter le poids de l'axe supérieur, ce qui, dans une structure d'empilement traditionnelle, réduit énormément la dynamique de l'axe inférieur. Sur le Twin Gantry, aussi bien l'axe X que l'axe Y supportent uniquement leur propre poids et celui de l'axe de rotation, du wafer et le système de portage.

Composants PRFC dans Twin Gantry

Important : Pour les poutres X et Y, Schneeberger utilise un matériau composite hightech qui est constitué de différentes couches de fibres de carbone et équipé de couches d'amortissement intégrées.

Ainsi, nous sommes parvenus, lors du positionnement, à réduire rapidement les vibrations les plus petites dans le système et à stabiliser l'installation en très peu de temps.

Systèmes film

Les exigences de nos clients :
des produits fiables et précis.

Notre solution :
des systèmes sur mesure, qu'il s'agisse d'axes simples à unités de commande intégrées ou de machines ultracomplexes.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

Communiqués de presse

  • New positioning system doubles positioning speed for 450 mmRevolutionary double gantry from Schneeberger. Known for innovation, Swiss firm Schneeberger AG Lineartechnik is currently developing a new positioning system that will bear the name Double Gantry.
  • Systèmes de positionnement Schneeberger Des systèmes de positionnement à haut degré de pureté adaptés aux besoins des clients. Les systèmes de positionnement, utilisés dans des branches de l'industrie particulièrement exigeantes comme l'industrie des semi-conducteurs et les technologies mises en œuvre pour les équipements médicaux ou solaires, doivent garantir un degré extrême de précision et de fiabilité tout en remplissant les exigences extrêmement strictes en matière de degré de pureté.
  • Des systèmes de positionnement à haut degré de pureté adaptés aux besoins des clientsLes systèmes utilisés dans des branches plus divers de l'industrie doivent garantir un degré extrême de précision et de fiabilité tout en remplissant les exigences extrêmement strictes.

Matériaux intégrés:

  • Composants PRFC
  • MINIRAIL avec système de mesure intégré MINISCALE PLUS
  • Composants en fonte minérale
  • Axes X et Y avec couches d'amortissement intégrées
  • Guides linéaires à recirculation de billes avec niveau optimal de pulsation en cas de rigidité maximale

Exemples d'applications : 200 mm x 200 mm 

  • Exactitude de position de 5 μm 
  • Hub jusqu'à 200 x 200 mm x 360°
  • Vitesse maximale jusqu'à 2 m/s
  • Charge utile jusqu'à 1 kg
  • Valeurs d'accélération de 5 g
  • Classe de précision  < 1 μm
  • MINISCALE PLUS Résolution jusqu'à 0.1 μm

Ces exemples d'application se réfèrent à notre système d'exemple Twin Gantry. Grâce à nos systèmes spécifiques au client, nous pouvons vous proposer des solutions pour des mouvements très complexes. Ainsi, le client peut donner lui-même les caractéristiques à atteindre, par exemple en modifiant la charge utile et le hub. Défiez-nous avec vos exigences spécifiques.

Contact:

Adrian Raible


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Roggwil (Suisse):

Siège social de la société SCHNEEBERGER,

siège de l'entité opérationnelle

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