真空ソリューション

Vacuum positioning systems

シュネーベルガーの製品にご興味をお持ちいただき、ありがとうございます。お客様のニーズと、私たちの提案できるソリューションに関して、詳しい話し合いができるよう、ご連絡をお待ちしています。お客様のご要望をお聞かせください。

EUV、ガス抜け、ポンプ時間、安定性、磁気撹乱は、真空システムのレイアウトにあたって考慮する主なパラメーターです。これらのパラメーターは、厳しい環境・性能条件下においてモーションソリューションを完全なものとする他のあらゆる関連パラメーターとともに考慮されます。

当社のシステムは、特に10^9mbar までの分圧下において動作するように開発され、リニアモーター (シールドを含む) から圧電素子により駆動するユニットや特殊ケーブルまでのコンポーネントを統合しています。

関連するすべての機械加工部品 (アルミニウムおよび/または SUS) を内製しており、清浄度とガス抜けのレベルが完璧に制御できるようにしています。

すべての真空システムは、当社のクリーンルームで組立、試験、梱包を行っています。クリーンルームは、お客様の生産リズムを十分に満たすように設計されています。

POI* における "真空" 向けの標準仕様

  • 設定:XYZT または + Z (傾き?)
  • トラベル:最大 400 x 500mm
  • 精度:≤ 10 µm (TIR 超の場合、マップ済み)
  • 再現性:≤ 0.1 µm
  • 安定性:≤ 2 nm (1s ptp 内)
  • 移動および停止:< 120ms (25mm の場合)
  • Cst 速度:< 0.01% (<100mm/s の場合)
  • 真直度:< 5um (300mm 超の場合)
  • 平面度:< 5um (300mm 超の場合)

*Point Of Interest

Systems 映画

お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。

当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

プレスリリース

お問い合わせフォーム:

Adrian Raible


ご訪問のときはご予約ください。

Roggwil (スイス):
シュネーベルガーの本社、ビジネスユニット本部

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