革命的なツインガントリー位置決めシステム

シュネーベルガーの製品にご興味をお持ちいただき、ありがとうございます。お客様のニーズと、私たちの提案できるソリューションに関して、詳しい話し合いができるよう、ご連絡をお待ちしています。お客様のご要望をお聞かせください。

次の応用領域で位置決め速度を倍にする:

Twin Gantry

携帯電話、タブレット、ノートパソコン、その他にも日常で使用する多くの電子製品がますます高性能かつ小型になっています。その基礎を成しているのが半導体チップであり、その小型化が尽きることはありません。この極小電子部品に構造(データハイウェイ)を組み込み、点検できるようにするためには、動作精度がマイクロメートルやナノメートル領域にあるシステムが必要です。さらに、大手のチップメーカーは極めて高い動的性能を求めています。結果として得られる利益に、それが直接影響するからです。可能な限りそれらの要件を満たすために、光学システムの他にも製造システムと点検システムに、特に高性能の位置決めユニットが求められています。それらは、何百ものチップを備えたウエハーが高速かつ正確に位置決めされるようにするものです。

X軸とY軸が互いから切り離されている

重要な技術的原理はツインガントリーという名にすでに反映されています。つまり、2本のガントリー軸が使用されます。そこでは、X軸とY軸が互いから切り離されています。軸を交差させて配置し、複数のガイドレールを通して別々に移動できるように置くことによって、これが可能になりました。この新しい構造のおかげで、下の軸が上の軸の重量を支える必要がなくなっています。従来の積み重ね構造では、このことが下の軸の動的性能を著しく低下させていました。そのため、ツインガントリーではX軸もY軸も自重および回転軸とウエハーの重量のみを保持システムと一緒に支えます。

ツインガントリーのCFRPコンポーネント

さらに重要な点:シュネーベルガーはXバーおよびYバーにハイテク複合材料を使用しています。これは、さまざまなカーボンファイバーの層で構成されていて、減衰層が組み込まれています。

それによって、位置決め時にシステム内の極微の振動をすばやく抑え、最短時間でシステムを安定させることを実現しています。

Systems 映画

お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。

当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

プレスリリース

組み込まれている構成部品:

  • CFRPコンポーネント
  • 測定システムMINISCALE PLUSが内蔵されたMINIRAIL
  • ミネラルキャスト部品
  • 減衰層が組み込まれたX軸とY軸
  • 最高の剛性で最適な脈動レベルを備えた再循環ボールベアリングガイド

応用例:200mmx200mm 

  • 5 μmの位置決め精度 
  • 最大200 x 200 mm x 360°のストローク
  • 2 m/sの最高速度
  • 最高1 kgの積載量
  • 5 gの加速度値
  • 1 μm未満の精度クラス
  • 0.1 μmまでのMINISCALE PLUS分解能

ここに挙げた応用例は、当社のシステムであるツインガントリーに関するものです。当社はお客様固有のシステムを通して、複雑性の高い動作タスクにも対応するソリューションを提供することができます。これによって、お客様は例えば積載量やストロークに別の値を選択して、達成できる特性をご自身で作成することができます。お客様固有の要件を当社にお知らせください。

お問い合わせフォーム:

Adrian Raible


ご訪問のときはご予約ください。

Roggwil (スイス):
シュネーベルガーの本社、ビジネスユニット本部

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