Halbleiterindustrie | SCHNEEBERGER

Die Leistung von Halbleiterausrüstungen wird durch Positioniergenauigkeit, thermische Stabilität, Schwingungsverhalten und Langzeitzuverlässigkeit bestimmt.
SCHNEEBERGER liefert integrierte Lösungen für Linearbewegung, Messtechnik und Strukturkomponenten, die entwickelt wurden, um höchsten Anforderungen in Wafer-Bearbeitung, Inspektion, Metrologie und Advanced-Packaging-Anlagen gerecht zu werden.

Wir unterstützen Halbleiter-OEMs dabei, die Systemarchitektur zu vereinfachen, Fehlerakkumulation zu reduzieren und eine stabile, wiederholbare Leistung über die gesamte Lebensdauer der Maschine zu erreichen.

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Kernkompetenzen im Halbleiterbereich

Integrierte Bewegung + Messung
Die Kombination von Führung und Positionsrückmeldung direkt in der mechanischen Achse reduziert Toleranzketten, verbessert das thermische Verhalten und vereinfacht die Maschinenkonstruktion.
Vakuum- und Reinraumtauglich
Lösungen, die mit Hochvakuumumgebungen und Reinraumbetrieb für kontaminationsempfindliche Prozesse kompatibel sind.
Thermische und dynamische Stabilität
Mechanisch und thermisch stabile Konstruktionen für konstante Genauigkeit unter wechselnden Prozessbedingungen.
System-Know-how
Von Einzelkomponenten bis zu kompletten Mehrachssystemen – entwickelt, montiert und validiert nach OEM-Spezifikationen.

Downloads / Produktkatalog

Dem Laser Herz und Verstand geben Technische Rundschau 5/2018Jetzt downloaden

Branche_Halbleiter.pdf In Bestückungsanlagen mit Positioniergenauigkeiten garantieren die präzisen SCHNEEBERGER MINIRAIL Miniaturführungen ein vibrationsfreies Verfahren. Jetzt downloaden

µm-genauer Druck in Labor und Serie Inkjet-Maschinen ausgestattet mit hochpräzisen SCHNEEBERGER-Profilschienführungen.Jetzt downloaden

Verwandte Produkte

Präzisionspositioniersysteme und mehrachsige Lösungen

SCHNEEBERGER entwickelt und liefert kundenspezifische Präzisionspositioniersysteme für Halbleiteranlagen, von einzelnen kritischen Achsen bis hin zu vollständig integrierten Mehrachs-Subsystemen.

Präzisionsführung mit integrierter Messung

MINIRAIL mit MINISAM – Miniaturführung mit absoluter Messung, Auflösung 100 nm verfügbar Schnittstellen Anschlüsse: BiSS/SSI, ABZ, UVW, SPI, Analog Sin/Cos
MINIRAIL mit MINISCALE PLUS / MSQScale – Miniaturführung mit inkrementeller Messung, Auflösung bis 0,1 μm
MONORAIL AMS – Linearführung mit integriertem magnetoresistivem Encoder, Analog oder Digital Schnittstelle, bis zu 3 m Verfahrweg pro Schiene, unbegrenzter Verfahrweg mit AMS Long

Langzeitschmierung mit LUBE-S

MINIRAIL -LUBE-S – Wartungsfreier Betrieb bis zu 20'000 km unter normalen Bedingungen und spezifizierter Last. Schlittenabmessungen und Leistung bleiben unverändert
Generell bietet SCHNEEBERGER eine Vielzahl maßgeschneiderter Schmierstoffe für Anwendungen wie:
- Lebensmittel- und MedTech-Industrie
- Hochgeschwindigkeits- oder Tieftemperaturanwendungen
- Reinraumumgebungen
- Vakuumbetrieb
- Kurzhubanwendungen

Vakuumtaugliche Präzisionsantriebe

MINISLIDE – Mikro-Reibungsfreie Tische mit extrem hoher Steifigkeit (Käfigzwangssteuerung verfügbar), vakuumkompatibel bis 10^-9 mbar
FORMULA-S – Hochgeschwindigkeits-Profilschienenführungen (Käfigzwangssteuerung verfügbar), vakuumkompatibel bis 10^-7 mbar

Präzisionsantriebe für die Positionierung in der Halbleiterindustrie

Präzisionsgeschliffene Kugelumlaufspindeln, Durchmesser von 3 mm bis 160 mm
Vorgespannt für null axiales Spiel, verschiedene Genauigkeitsklassen
Ausführungen aus Edelstahl für Reinraumumgebungen

Schwingungsgedämpfte Konstruktionslösungen

Hervorragende Schwingungsdämpfung für Prüf- und Messgeräte
Hohe thermische Stabilität und geringes Driftverhalten
Chemikalienbeständig und reinraumtauglich
Präzise Montage von Führungen, Motoren und Kugelumlaufspindeln

Anwendungsbeispiele

Wafer-Inspektions- und Messsysteme

Lithografie- und Maskenhandhabungs-Subsysteme

Backend-Montage- und Advanced-Packaging-Anlagen

Präzisions-Pick-and-Place- und Ausrichtstufen

Vakuum- und Reinraum-Bewegungsachsen

Positioniersysteme mit großem Verfahrweg und Submikron-Genauigkeit

Produktoptionen

Konfigurierbare Optionen, maßgeschneidert für Ihre Anwendung

KCN/KCS-Führungsschienen mit maximaler Steifigkeit und Präzision

SCHNEEBERGER ist bekannt für höchste Präzision und entwickelt und vertreibt Produkte, die perfekt auf dieses Industriesegment zugeschnitten sind. Diese sind flexibel in der Konstruktion, insbesondere in Situationen, in denen hohe Tragfähigkeiten und präzise Positionierung auf engstem Raum erforderlich sind.

KCN/KCS-Führungsschienen im Detail entdecken

Messsystem

Die absoluten Messsysteme SAM und das inkrementelle Messsystem Scale vereinen „Führen” und „Messen” in einem hochintegrierten Design.

Optimiert für Reinraumanwendungen

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