Industria de semiconductores

El rendimiento de los equipos para semiconductores se define por la precisión de posicionamiento, la estabilidad térmica, el comportamiento vibratorio y la fiabilidad a largo plazo.
SCHNEEBERGER ofrece soluciones integradas de movimiento lineal, medición y estructurales diseñadas para cumplir con los requisitos más exigentes en herramientas de procesamiento de obleas, inspección, metrología y empaquetado avanzado.

Ayudamos a los fabricantes de equipos originales del sector de semiconductores a simplificar la arquitectura del sistema, reducir la acumulación de errores y lograr un rendimiento estable y repetible durante toda la vida útil de la máquina.

Asóciese con SCHNEEBERGER
Hable con nuestros especialistas en semiconductores para analizar los requisitos de su aplicación, la estrategia de integración o las necesidades de sistemas personalizados.

Capacidades Principales en Semiconductores

Movimiento + Medición Integrados
La combinación de guiado y retroalimentación de posición directamente en el eje mecánico reduce la acumulación de tolerancias, mejora el comportamiento térmico y simplifica el diseño de la máquina.
Preparado para Vacío y Salas Blancas
Soluciones compatibles con entornos de alto vacío y operación en salas blancas para procesos sensibles a la contaminación.
Estabilidad Térmica y Dinámica
Diseños mecánica y térmicamente estables diseñados para mantener una precisión constante bajo condiciones de proceso cambiantes.
Experiencia a Nivel de Sistema
Desde componentes individuales hasta sistemas completos de múltiples ejes, diseñados, ensamblados y validados según las especificaciones del fabricante de equipos originales.

Descargas / Catálogo de productos

Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.Descargar ahora

The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.Descargar ahora

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.Descargar ahora

Productos relacionados

Sistemas de posicionamiento de precisión y soluciones multieje

SCHNEEBERGER diseña y suministra sistemas de posicionamiento de precisión a medida para equipos de semiconductores, desde ejes críticos individuales hasta subsistemas multieje totalmente integrados.

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Guiado de precisión con medición integrada

MINIRAIL con MINISAM – guiado miniatura con medición absoluta, resolución de 100 nm disponible Interfaces Puertos: BiSS/SSI, ABZ, UVW, SPI, analógico Sin/Cos
MINIRAIL con MINISCALE PLUS / MSQScale – guiado miniatura con medición incremental, resolución hasta 0,1 μm
MONORAIL AMS – guía lineal con codificador magnetoresistivo integrado, interfaz analógica o digital, hasta 3 m de recorrido por carril, recorrido ilimitado con AMS Long

Lubricación a largo plazo con LUBE-S

MINIRAIL -LUBE-S – Funcionamiento libre de mantenimiento hasta 20'000 km en condiciones normales y carga especificada. Las dimensiones del carro y el rendimiento permanecen sin cambios
En general, SCHNEEBERGER ofrece una variedad de lubricantes adaptados para aplicaciones como:
- Industrias alimentaria y MedTech
- Aplicaciones de alta velocidad o baja temperatura
- Entornos de sala limpia
- Funcionamiento en vacío
- Aplicaciones de carrera corta

Movimiento de precisión compatible con el vacío

MINISLIDE – mesas de fricción micro de rigidez ultraelevada (control de jaula disponible), compatibles con vacío hasta 10-9 mbar
FORMULA-S – rodamientos lineales de alta velocidad (control de jaula disponible), compatibles con vacío hasta 10-7 mbar

Accionamientos de precisión para el posicionamiento en la industria de los semiconductores

Husillos de bolas rectificados con precisión, con diámetros de 3 mm a 160 mm
Precargados para eliminar el juego axial, con múltiples clases de precisión
Opciones de acero inoxidable para entornos de sala limpia

Soluciones estructurales con amortiguación de vibraciones

Excelente amortiguación de vibraciones para herramientas de inspección y metrología
Alta estabilidad térmica y bajo comportamiento de deriva
Resistentes a los productos químicos y compatibles con salas blancas
Montaje de precisión de guías, motores y husillos de bolas

Ejemplos de aplicación

Sistemas de inspección y metrología de obleas

Subsistemas de litografía y manipulación de máscaras

Equipos de ensamblaje de backend y empaquetado avanzado

Etapas de precisión para pick-and-place y alineación

Ejes de movimiento para vacío y salas blancas

Sistemas de posicionamiento de largo recorrido que requieren precisión submicrónica

Opciones de producto

Opciones configurables adaptadas a su aplicación

Guías KCN/KCS con máxima rigidez y precisión

SCHNEEBERGER es conocida por su altísimo nivel de precisión y desarrolla y distribuye productos que se adaptan perfectamente a este segmento industrial. Estos productos tienen un diseño flexible, especialmente en situaciones en las que se requieren altas capacidades de carga y un posicionamiento preciso en espacios muy reducidos.

Descubre en detalle las guías KCN/KCS

Sistema de medición

Los sistemas de medición absoluta SAM y el sistema de medición incremental Scale combinan «guiado» y «medición» en un diseño altamente integrado.

Optimizado para aplicaciones en salas blancas.

Productos optimizados para aplicaciones exigentes con lubricación para uso en salas blancas y conforme a la FDA, procesos especiales de limpieza y envasado, materiales resistentes a la corrosión y trazabilidad completa del producto.