行业：半导体解决方案

用于亚微米级半导体应用的运动、测量和结构解决方案

基本信息下载相关产品应用示例产品选项

半导体设备的性能取决于定位精度、热稳定性、振动特性和长期可靠性。
SCHNEEBERGER 提供集成式直线运动、测量和结构解决方案,专为满足晶圆加工、检测、计量和先进封装设备的严苛要求而设计。

我们帮助半导体 OEM 厂商简化系统架构、减少误差累积,并在设备的整个生命周期内实现稳定、可重复的性能表现。

与 SCHNEEBERGER 合作
欢迎与我们的半导体专家交流,探讨您的应用需求、集成策略或定制系统方案。

半导体核心能力

集成运动与测量
将导向和位置反馈直接集成到机械轴中，可减少公差累积，改善热性能，并简化机器设计。
真空解决方案和洁净室应用
适用于高真空环境和洁净室操作的解决方案，满足对污染敏感的工艺要求。
热稳定性和动态稳定性
机械和热稳定性设计，确保在不断变化的工艺条件下保持一致的精度。
系统级专业技术
从单个组件到完整的多轴系统，均按照OEM规格进行设计、组装和验证。

下载 / 产品目录

Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.现在下载

The secret of linear technolgy

The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.现在下载

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.现在下载

相关产品

精密定位系统与多轴解决方案

精密定位系统与多轴解决方案

施耐伯格（SCHNEEBERGER）为半导体设备设计并提供定制化的精密定位系统，涵盖从单个关键轴到完全集成的多轴子系统。

集成测量功能的精准引导

集成测量功能的精准引导

MINIRAIL配MINISAM——微型导轨系统，配备绝对测量功能，分辨率可达100 nm 接口端口：BiSS/SSI、ABZ、UVW、SPI、模拟Sin/Cos
MINIRAIL配MINISCALE PLUS / MSQScale——微型导轨系统，配备增量测量功能，分辨率可达0.1 μm
MONORAIL AMS——内置磁阻编码器的直线导轨，模拟或数字接口，单根导轨行程可达3米，采用AMS Long可实现无限行程

使用LUBE-S实现长期润滑

使用LUBE-S实现长期润滑

MINIRAIL -LUBE-S – 在正常条件和规定负载下,可实现长达20,000公里的免维护运行。滑块尺寸和性能保持不变
通常,SCHNEEBERGER为以下应用提供多种定制润滑剂:
- 食品和医疗技术行业
- 高速或低温应用
- 洁净室环境
- 真空解决方案运行
- 短行程应用

真空兼容型精密运动系统

真空兼容型精密运动系统

MINISLIDE – 超高刚性微型无摩擦工作台(可配保持架控制),真空解决方案兼容至10-9毫巴
FORMULA-S – 高速线性轴承(可配保持架控制),真空解决方案兼容至10-7毫巴

用于半导体定位的精密驱动系统

用于半导体定位的精密驱动系统

精密磨制滚珠丝杠，直径范围为 3 毫米至 160 毫米
预紧设计，轴向间隙为零，提供多种精度等级
提供适用于洁净室环境的不锈钢型号

减振结构解决方案

减振结构解决方案

为检测和计量工具提供卓越的减震性能
具有高热稳定性和低漂移特性
耐化学腐蚀且适用于洁净室
导轨、电机和滚珠丝杠的精密安装

应用示例

晶圆检测和测量系统

光刻和掩模处理子系统

后端组装和先进封装设备

精密拾取放置和对准平台

真空解决方案和洁净室运动轴

需要亚微米精度的长行程定位系统

产品选项

可配置選項，專為您的應用而設計

具備最高剛性與精度的KCN/KCS導軌系統

具備最高剛性與精度的KCN/KCS導軌系統

施耐伯格以頂尖精密技術聞名，專注研發並供應完美契合此工業領域的產品。其設計具備高度靈活性，尤其在狹小空間中需滿足高負載能力與精準定位需求時，更能展現卓越性能。

深入了解 KCN/KCS 导轨

測量系統

測量系統

絕對式測量系統SAM與增量式測量系統Scale，透過高度整合的設計，將「導引」與「測量」功能完美結合。

專為潔淨室應用優化

專為潔淨室應用優化

針對嚴苛應用環境優化的產品，具備潔淨室及FDA認證潤滑特性，採用特殊清潔與包裝流程，選用耐腐蝕材料，並提供完整產品溯源性。

还有其他问题吗？

电话 +65 6841 2385

电子邮件立即发送邮件

Latest news

[Translate to Chinesisch:]

ROTARY CLUB Langenthal visits SCHNEEBERGER

This week, we welcomed the Rotary Club Langenthal and numerous partners to our new Plant 3 in Roggwil.

光子学——精准操控光线的艺术

SCHNEEBERGER为光子学行业树立新标杆

SCHNEEBERGER gear racks now available online

SCHNEEBERGER gear racks now available online

Discover selected SCHNEEBERGER gear racks now available in the e-shop – fast, precise, and ready when you are.