Motion-Lösungen für Vakuum- und UHV-Anwendungen

Unser Portfolio umfasst sowohl Präzisionskomponenten als auch vollständig integrierte, kundenspezifisch entwickelte Motion-Systeme, die für einen zuverlässigen Betrieb unter anspruchsvollen Vakuumbedingungen ausgelegt sind.

In der Halbleiterfertigung unterstützen SCHNEEBERGER-Lösungen kritische Prozesse wie Elektronenstrahl-Inspektion (E-Beam), Lithografie und Messtechnik, bei denen höchste Positioniergenauigkeit, langfristige Stabilität, geringe Ausgasung und minimale magnetische Störungen entscheidend sind. Dank unseres umfassenden Anwendungs-Know-hows entwickeln wir Motion-Systeme, die strenge Anforderungen hinsichtlich Vakuumtauglichkeit, Reinheit, thermischer Stabilität und Leistung im Nanometerbereich erfüllen.

Dieselbe Expertise kommt auch bei anspruchsvollen Anwendungen in den Life Sciences und Materialwissenschaften zum Einsatz, beispielsweise in der Analytik und in Forschungsumgebungen, in denen präzise Bewegungen unter Vakuum eine wesentliche Voraussetzung für reproduzierbare und zuverlässige Ergebnisse sind. Durch sorgfältige Werkstoffauswahl, optimierte Systemarchitekturen sowie integrierte mechatronische und Steuerungskonzepte liefert SCHNEEBERGER robuste, anwendungsspezifische Vakuumlösungen – von einzelnen Achsen bis hin zu vollständig integrierten Systemen – und gewährleistet damit vorhersehbare Leistung und langfristige Zuverlässigkeit.