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Soluzioni di movimento per applicazioni in vuoto e UHV

SCHNEEBERGER vanta decenni di esperienza nello sviluppo di soluzioni di movimento ad alta precisione per ambienti in vuoto e ultra alto vuoto (UHV), supportando applicazioni esigenti nell'industria dei semiconduttori e nelle scienze della vita e dei materiali.

5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection
5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection

Il nostro portafoglio comprende sia componenti di precisione sia sistemi di movimento completamente integrati e progettati su misura per operare in modo affidabile in condizioni di vuoto particolarmente severe.

Nella produzione di semiconduttori, le soluzioni SCHNEEBERGER supportano processi critici quali l'ispezione a fascio elettronico (e-beam), la litografia e la metrologia, dove precisione di posizionamento estrema, stabilità a lungo termine, basso degassamento e minime interferenze magnetiche sono fondamentali. Grazie a un'approfondita conoscenza applicativa, sviluppiamo sistemi di movimento che soddisfano severi requisiti di compatibilità con il vuoto, pulizia, stabilità termica e prestazioni a livello nanometrico.

La stessa competenza viene applicata alle scienze della vita e dei materiali, comprese la strumentazione analitica e gli ambienti di ricerca, dove il movimento di precisione in vuoto è essenziale per ottenere risultati affidabili e riproducibili. Attraverso un'attenta selezione dei materiali, un'architettura di sistema ottimizzata e concetti integrati di meccatronica e controllo, SCHNEEBERGER fornisce robuste soluzioni per il vuoto, dalle singole unità agli impianti completamente integrati, garantendo prestazioni prevedibili e affidabilità a lungo termine.

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