Componentes de CFK en los sistemas de posicionamiento de SCHNEEBERGER

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Componentes de CFK en los sistemas de
posicionamiento

SCHNEEBERGER desarrolla sistemas de posicionamiento para el uso en la fabricación de obleas. Debido a las necesidades cada vez más exigentes de los clientes, SCHNEEBERGER ha elaborado diferentes soluciones con componentes de CFK. Un ejemplo es el nuevo sistema Double Gantry. Cabe destacar la disposición de los ejes y el uso de materiales compuestos. Con ello, las velocidades de posicionamiento se duplican en comparación con los sistemas anteriores.

CFK en el uso de ejes de precisión altamente dinámicos

La fabricación de chips se realiza mediante una estructura de capas litográficas sobre un disco de silicio (oblea) en una sala limpia.
Para asegurar la calidad se comprueban regularmente las dimensiones críticas (metrología de obleas) durante el proceso de fabricación. Estas mediciones comprueban dimensiones de < 20 nm.
Además, la oblea se mueve debajo del instrumento de medición por medio de un sistema de posicionamiento. El desarrollo y la fabricación de este sistema de posicionamiento compete a Business Unit Systems.

Sistemas film

Los requisitos de nuestros clientes:
Productos fiables y precisos.

Nuestra solución:
sistemas personalizados, desde ejes únicos con unidades de control integradas hasta máquinas altamente complejas.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

Comunicados de prensa

Ventajas de los componentes CFK

  • 30 % de reducción de la masa móvil
  • Aumento de la rigidez específica de las piezas al factor 2,5
  • 40 % de aumento de la primera frecuencia propia del sistema
  • 30 % de reducción del tiempo de desplazamiento y colocación (Move & Settle Time)
  • Observancia de las tolerancias necesarias de los elementos (p. ej., el paralelismo)
  • Observancia asegurada de las especificaciones del sistema (p. ej., la variación)

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Roggwil (Suiza):

Sede central de la empresa SCHNEEBERGER y de la División de Sistemas

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