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Soluciones de movimiento para aplicaciones de vacío y UHV

SCHNEEBERGER cuenta con décadas de experiencia en el desarrollo de soluciones de movimiento de alta precisión para entornos de vacío y ultra alto vacío (UHV), dando soporte a exigentes aplicaciones en la industria de los semiconductores, así como en las ciencias de la vida y los materiales.

5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection
5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection

Nuestra cartera abarca tanto componentes de precisión como sistemas de movimiento totalmente integrados y diseñados a medida para funcionar de forma fiable en condiciones de vacío extremas.

En la fabricación de semiconductores, las soluciones de SCHNEEBERGER respaldan procesos críticos como la inspección por haz de electrones (e-beam), la litografía y la metrología, donde son esenciales una precisión extrema, estabilidad a largo plazo, baja desgasificación y mínimas perturbaciones magnéticas. Gracias a nuestro profundo conocimiento de las aplicaciones, desarrollamos sistemas capaces de cumplir exigentes requisitos de compatibilidad con el vacío, limpieza, estabilidad térmica y rendimiento a escala nanométrica.

La misma experiencia se aplica a aplicaciones avanzadas en ciencias de la vida y de los materiales, incluidas la instrumentación analítica y los entornos de investigación, donde el movimiento de precisión en vacío es clave para obtener resultados fiables y reproducibles. Mediante una cuidadosa selección de materiales, una arquitectura optimizada y conceptos integrados de mecatrónica y control, SCHNEEBERGER ofrece soluciones robustas y específicas para cada aplicación, desde ejes individuales hasta sistemas totalmente integrados.

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