Soluciones de vacío

Vacuum positioning systems

Gracias por su interés en los productos de SCHNEEBERGER. Estaremos encantados de ponernos en contacto con usted para hablar sobre sus necesidades y las soluciones que le proponemos. Envíenos una solicitud y nos pondremos en contacto con usted.

EUV, perturbaciones magnéticas y de estabilidad, desgasificación, tiempo de bombeo son los parámetros principales que se tienen en cuenta durante el diseño de un sistema de vacío. Esto, unido a todos los demás parámetros clave que son relevantes para una solución de movimiento perfecto para su entorno y actuaciones exigentes.

Nuestros sistemas están específicamente desarrollados para poder funcionar a presiones parciales de hasta 10^9 mbar mediante la integración de componentes específicos, desde motores lineales (incluyendo protección específica) hasta unidades de accionamiento piezoeléctrico y cables especiales.

Todas las piezas mecanizadas relevantes (aluminio y/o SUS) se fabrican internamente para mantener el nivel de limpieza y desgasificación perfectamente controlado.

Todos los sistemas de vacío son ensamblados, probados y empaquetados en nuestra sala limpia, especialmente diseñada para cubrir completamente su ritmo de producción.

Especificaciones características para "vacío" en POI*

  • Configuración:  XYZT o + Z (¿inclinación?)
  • Recorrido:  hasta 400 x 500 mm
  • Precisión: ≤ 10 µm (sobre TIR, asignado)
  • Repetibilidad: ≤ 0,1 µm
  • Estabilidad:  ≤ 2 nm (en 1s ptp)
  • Movimiento y fijación: < 120 ms para 25 mm
  • Velocidad Cst: < 0,01 % a <100 mm/s
  • Rectitud: < 5 µm sobre 300 mm
  • Planeidad:  < 5 µm sobre 300 mm

*Point Of Interest

 

 

Sistemas film

Los requisitos de nuestros clientes:
Productos fiables y precisos.

Nuestra solución:
sistemas personalizados, desde ejes únicos con unidades de control integradas hasta máquinas altamente complejas.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

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