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Solutions de mouvement pour les applications sous vide et UHV

SCHNEEBERGER possède plusieurs décennies d'expérience dans le développement de solutions de mouvement de haute précision pour les environnements sous vide et ultra-haut vide (UHV), destinées aux applications exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs ainsi que des sciences de la vie et des matériaux.

5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection
5 axes (incl. tilt) systems for E-beam inspection

Notre portefeuille comprend des composants de précision ainsi que des systèmes de mouvement entièrement intégrés et conçus sur mesure, développés pour fonctionner de manière fiable dans des conditions de vide strictes.

Dans la fabrication des semi-conducteurs, les solutions SCHNEEBERGER prennent en charge des processus critiques tels que l'inspection par faisceau d'électrons (e-beam), la lithographie et la métrologie, où une précision extrême, une stabilité à long terme, un faible dégazage et des perturbations magnétiques minimales sont indispensables. Grâce à notre profonde expertise applicative, nous développons des systèmes répondant aux exigences les plus strictes en matière de compatibilité avec le vide, de propreté, de stabilité thermique et de performances nanométriques.

Cette même expertise est également appliquée aux sciences de la vie et des matériaux, notamment dans les instruments analytiques et les environnements de recherche, où les mouvements de précision sous vide sont essentiels pour obtenir des résultats fiables et reproductibles. Grâce à une sélection rigoureuse des matériaux, une architecture système optimisée et des concepts intégrés de mécatronique et de commande, SCHNEEBERGER fournit des solutions robustes et spécifiques à chaque application, allant des axes individuels aux systèmes entièrement intégrés.

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