Vide

Vacuum positioning systems

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Solutions sous vide

L'EUV, le dégazement, les heures de marche en pompe, la stabilité et les perturbations magnétiques sont les principaux paramètres pris en compte lors de la conception d'un système sous vide, en plus de tous les autres paramètres clés permettant de créer une solution de mouvement parfaite répondant à vos exigences en matière d'environnement et de performances.

Nos systèmes sont spécialement conçus de façon à pouvoir fonctionner à des pressions partielles pouvant aller jusqu'à 10^9mbar grâce à l'intégration de certains composants spécifiques, notamment des moteurs linéaires (avec blindage spécifique), des unités d'entraînement piézoélectrique et des câbles spéciaux.

Toutes les pièces importantes (en aluminium et/ou silicium) sont produites en interne afin de pouvoir contrôler au mieux leur niveau de propreté et de dégazement.

Tous les systèmes sous vide sont assemblés, testés et emballés dans notre chambre blanche, spécialement adaptée à notre rythme de production.

Caractéristiques des solutions « sous vide » au POI*

  • Configuration :  XYZT ou + Z (inclinaison ?)
  • Longueur :  jusqu'à 400 x 500 mm
  • Précision : ≤ 10 µm (sur intervalle de mesure, sur carte)
  • Répétabilité : ≤ 0,1 µm
  • Stabilité :  ≤ 2 nm (en 1s ptp)
  • Temps de montée : < 120 ms pour 25 mm
  • Vitesse Cst : < 0,01 % à <100 mm/s
  • Rectitude : < 5 um sur 300 mm
  • Planéité :  < 5 um sur 300 mm


*Point d'intérêt

Systèmes film

Les exigences de nos clients :
des produits fiables et précis.

Notre solution :
des systèmes sur mesure, qu'il s'agisse d'axes simples à unités de commande intégrées ou de machines ultracomplexes.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

Communiqués de presse

  • New positioning system doubles positioning speed for 450 mmRevolutionary double gantry from Schneeberger. Known for innovation, Swiss firm Schneeberger AG Lineartechnik is currently developing a new positioning system that will bear the name Double Gantry.
  • Systèmes de positionnement Schneeberger Des systèmes de positionnement à haut degré de pureté adaptés aux besoins des clients. Les systèmes de positionnement, utilisés dans des branches de l'industrie particulièrement exigeantes comme l'industrie des semi-conducteurs et les technologies mises en œuvre pour les équipements médicaux ou solaires, doivent garantir un degré extrême de précision et de fiabilité tout en remplissant les exigences extrêmement strictes en matière de degré de pureté.
  • Des systèmes de positionnement à haut degré de pureté adaptés aux besoins des clientsLes systèmes utilisés dans des branches plus divers de l'industrie doivent garantir un degré extrême de précision et de fiabilité tout en remplissant les exigences extrêmement strictes.

Contact:

Adrian Raible


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Roggwil (Suisse):

Siège social de la société SCHNEEBERGER,

siège de l'entité opérationnelle

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