真空解决方案

Vacuum positioning systems

非常感谢您对 SCHNEEBERGER 产品感兴趣。我们很乐意联系您,以了解您的需求并提出我们的相应解决方案。请将您的需求发送给我们,我们将做出回复。

EUV,除气、泵送时间、稳定性和磁扰是在真空系统布置过程中考虑的主要参数。此外,针对您要求严苛的环境和性能,提供与完美的运动解决方案相关的所有其他关键参数。

我们的系统专门开发而成,可通过集成从直线电机(包括特定屏蔽)至压力驱动装置和特殊线缆的特定组件,在 10^9mbar 的分压条件下运行。

所有相关的机械部件(铝和/或 SUS)均为内部生产,以保持清洁度并完美控制除气过程。

所有的真空系统都在我们的洁净室内进行装配、测试和包装,经特别设计可满足您的生产节奏需求

“大尺寸格式系统”兴趣点*的典型规格

  • 配置:XYZ 或 + Z(机架)
  • 行程:最大 3500 x 2700mm
  • 准确度:≤ 10 µm(超过 TIR,映射)
  • 可重复性:≤ 2 µm
  • 稳定性:≤ 10 nm(在 1s ptp 内)
  • 移动和稳定:300mm 时 < 500ms
  • Cst 速率:<100mm/s 时 < 0.01%
  • 平直度:超过 3000mm 时 < 20um
  • 平整度:超过 3000mm 时 < 20um

*兴趣点

Systems 电影

お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。

当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

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