진공 솔루션

Vacuum positioning systems

SCHNEEBERGER 제품에 관심을 가져주셔서 대단히 감사합니다. 귀하의 요구와 당사가 제안한 솔루션에 대해 더 논의하려면 언제든지 연락주시기 바랍니다. 귀하의 요청을 보내주시면 답변해 드리겠습니다.

EUV, 탈가스, 펌프 시간, 안정성 및 자기 교란은 진공 시스템의 배치 중 고려되는 주요 매개변수입니다. 다른 모든 주요 매개변수에 더하여 이것은 귀하의 까다로운 환경 및 성능에 대한 완벽한 이동 솔루션과 관련되어 있습니다.

당사의 시스템은 리니어 모터(특정 차폐 포함)부터 피에조 구동 장치 및 특수 케이블에 이르는 특정 부품을 통합하여 10^9mbar의 분압에서 운영이 가능하도록 특수 개발되었습니다.

청결 수준을 유지하고 탈가스를 완벽하게 제어하기 위해 모든 관련 기계 부품(알루미늄 및/또는 SUS)은 내부적으로 생산됩니다.

모든 진공 시스템은 당사의 클린룸에서 조립, 시험 및 포장되며 특히 귀하의 생산 리듬에 맞춰 배치됩니다.

POI*에서 "진공"에 대한 일반적인 사양

  • 구성:  XYZT 또는 + Z(틸트?)
  • 이동:  최대 400 x 500mm
  • 정확도: ≤ 10 µm(TIR에 매핑됨)
  • 반복성: ≤ 0.1 µm
  • 안정성:  ≤ 2 nm(1s ptp 이내)
  • 이동 및 장착: < 120ms(25mm인 경우)
  • Cst 속도: < 0.01%(<100mm/s에서)
  • 직선성: < 5um(300mm에서)
  • 편평성:  < 5um(300mm에서)

*관심 지점

Systems 영화

당사의 고객 요건:
신뢰할 수 있고 정밀한 제품.

당사의 솔루션:
맞춤형 시스템, 통합된 제어 장치를 갖춘 단일 축부터 매우 복잡한 기계까지 가능.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

보도 자료


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