Решения для систем движения в вакуумных и сверхвысоковакуумных (UHV) приложениях

Наш портфель включает как прецизионные компоненты, так и полностью интегрированные системы движения, разработанные по индивидуальному заказу для надёжной работы в условиях строгих вакуумных требований.

В производстве полупроводников решения SCHNEEBERGER поддерживают такие критически важные процессы, как электронно-лучевая (E-Beam) инспекция, литография и метрология, где необходимы предельно высокая точность позиционирования, долгосрочная стабильность, низкое газовыделение и минимальные магнитные помехи. Благодаря глубокой прикладной экспертизе мы создаём системы движения, отвечающие строгим требованиям к вакуумной совместимости, чистоте, термической стабильности и нанометровому уровню производительности.

Эта же экспертиза применяется в аналитическом оборудовании и исследовательских средах в области наук о жизни и материаловедения, где точное движение в вакууме является ключом к воспроизводимым и надёжным результатам. Благодаря тщательному подбору материалов, оптимизированной архитектуре и интегрированным решениям в области мехатроники и управления SCHNEEBERGER предлагает надёжные вакуумные решения — от отдельных осей до полностью интегрированных систем.