Вакуумные системы

Vacuum positioning systems

Благодарим Вас за интерес к продукции компании SCHNEEBERGER! Мы с радостью свяжемся с вами и обсудим ваши потребности и применимость наших разработок. Отправьте запрос, и наши специалисты свяжутся с Вами.

Основными учитываемыми параметрами при разработке вакуумных систем являются экстремальное ультрафиолетовое излучение (EUV), дегазация, время откачки, стабильность и величина магнитных возмущений. Эти характеристики учитываются наряду с остальными ключевыми параметрами систем перемещения, которые необходимо обеспечить в сложных условиях производственной среды и высоких эксплуатационных требований.

Наши системы спроектированы для работы при парциальных давлениях до 10^9 мбар за счет применения особых компонентов, от линейных двигателей (в том числе экранированных) до пьезоприводов и специальных кабелей.

Все необходимые детали машинной обработки (из алюминия или нержавеющей стали) изготовлены нами на собственном производстве, чтобы наилучшим образом контролировать их чистоту и дегазацию.

Все вакуумные системы, предназначенные для поддержания вашего производственного ритма, собраны, испытаны и упакованы в чистых комнатах.

Стандартные технические характеристики устройств типа «Вакуумные системы» в точке POI*

  • Конфигурация:  XYZT или + Z (наклон?)
  • Длина хода:  до 400 x 500 мм
  • Точность: ≤ 10 мкм (TIR, с отображением)
  • Повторяемость: ≤ 0,1 мкм
  • Стабильность:  ≤ 2 нм (в пределах 1 с по протоколу ptp)
  • Время перемещения и успокоения: < 120 мс на 25 мм
  • Стабильность скорости: < 0,01 % при скорости < 100 мм/с
  • Прямолинейность: < 5 мкм на 300 мм
  • Плоскостность:  < 5 мкм на 300 мм

*Точка интереса

Systems фильм

Требования наших заказчиков:
высокоточная и надежная продукция.

Наше решение:
адаптированные системы — от одноосных направляющих со встроенными блоками управления до станков высокой сложности.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

Пресс-релизы


Запланируйте посещение!

Рогвиль, Швейцария:

Головной офис компании SCHNEEBERGER офисы дочерних компаний

Рассылка новостей

Подпишитесь на новостную рассылку SCHNEEBERGER, и вы всегда будете в курсе последних событий и новинок.