Hotline
+41 62 918 41 11

Вакуумные системы

Vacuum positioning systems

Благодарим Вас за интерес к продукции компании SCHNEEBERGER! Мы с радостью свяжемся с вами и обсудим ваши потребности и применимость наших разработок. Отправьте запрос, и наши специалисты свяжутся с Вами.



Detailed information on the handling of user data can be found in our data protection.

Основными учитываемыми параметрами при разработке вакуумных систем являются экстремальное ультрафиолетовое излучение (EUV), дегазация, время откачки, стабильность и величина магнитных возмущений. Эти характеристики учитываются наряду с остальными ключевыми параметрами систем перемещения, которые необходимо обеспечить в сложных условиях производственной среды и высоких эксплуатационных требований.

Наши системы спроектированы для работы при парциальных давлениях до 10^9 мбар за счет применения особых компонентов, от линейных двигателей (в том числе экранированных) до пьезоприводов и специальных кабелей.

Все необходимые детали машинной обработки (из алюминия или нержавеющей стали) изготовлены нами на собственном производстве, чтобы наилучшим образом контролировать их чистоту и дегазацию.

Все вакуумные системы, предназначенные для поддержания вашего производственного ритма, собраны, испытаны и упакованы в чистых комнатах.

Стандартные технические характеристики устройств типа «Вакуумные системы» в точке POI*

  • Конфигурация:  XYZT или + Z (наклон?)
  • Длина хода:  до 400 x 500 мм
  • Точность: ≤ 10 мкм (TIR, с отображением)
  • Повторяемость: ≤ 0,1 мкм
  • Стабильность:  ≤ 2 нм (в пределах 1 с по протоколу ptp)
  • Время перемещения и успокоения: < 120 мс на 25 мм
  • Стабильность скорости: < 0,01 % при скорости < 100 мм/с
  • Прямолинейность: < 5 мкм на 300 мм
  • Плоскостность:  < 5 мкм на 300 мм

*Точка интереса

Systems фильм

Требования наших заказчиков:
высокоточная и надежная продукция.

Наше решение:
адаптированные системы — от одноосных направляющих со встроенными блоками управления до станков высокой сложности.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

Пресс-релизы


Запланируйте посещение!

Рогвиль, Швейцария:

Головной офис компании SCHNEEBERGER офисы дочерних компаний

Рассылка новостей

Подпишитесь на новостную рассылку SCHNEEBERGER, и вы всегда будете в курсе последних событий и новинок.