
Системы контроля и метрологии пластин

Решения для перемещения, измерения и конструкций для полупроводниковых применений с субмикронной точностью

Производительность оборудования для полупроводниковой промышленности определяется точностью позиционирования, термической стабильностью, виброустойчивостью и долгосрочной надежностью.
SCHNEEBERGER предлагает интегрированные решения для линейного перемещения, измерения и конструктивные решения, разработанные для удовлетворения самых высоких требований в области обработки пластин, контроля, метрологии и современного упаковочного оборудования.
Мы помогаем производителям оборудования для полупроводниковой промышленности упростить архитектуру системы, снизить накопление погрешностей и обеспечить стабильную, воспроизводимую производительность на протяжении всего срока службы оборудования.
Сотрудничество с SCHNEEBERGER
Свяжитесь с нашими специалистами по полупроводниковым решениям, чтобы обсудить требования к вашему применению, стратегию интеграции или потребности в индивидуальных системах.



Компания SCHNEEBERGER разрабатывает и поставляет индивидуальные системы точного позиционирования для полупроводникового оборудования — от отдельных критически важных осей до полностью интегрированных многоосевых подсистем.






Компания SCHNEEBERGER известна своим высочайшим уровнем точности и разрабатывает и поставляет продукты, идеально подходящие для этого сегмента промышленности. Они отличаются гибкостью конструкции, особенно в ситуациях, когда требуется высокая грузоподъемность и точное позиционирование в самых ограниченных пространствах.
Абсолютные измерительные системы SAM и инкрементная измерительная система Scale объединяют в себе функции «наведения» и «измерения» в высокоинтегрированной конструкции.
Оптимизированные продукты для сложных условий эксплуатации с смазкой для использования в чистых помещениях и в соответствии с требованиями FDA, специальными процессами очистки и упаковки, коррозионно-стойкими материалами и полной прослеживаемостью продукции.