+41 62 918 41 11

Отрасль: Полупроводниковые решения

Решения для перемещения, измерения и конструкций для полупроводниковых применений с субмикронной точностью

Производительность оборудования для полупроводниковой промышленности определяется точностью позиционирования, термической стабильностью, виброустойчивостью и долгосрочной надежностью.
SCHNEEBERGER предлагает интегрированные решения для линейного перемещения, измерения и конструктивные решения, разработанные для удовлетворения самых высоких требований в области обработки пластин, контроля, метрологии и современного упаковочного оборудования.

Мы помогаем производителям оборудования для полупроводниковой промышленности упростить архитектуру системы, снизить накопление погрешностей и обеспечить стабильную, воспроизводимую производительность на протяжении всего срока службы оборудования.

Сотрудничество с SCHNEEBERGER
Свяжитесь с нашими специалистами по полупроводниковым решениям, чтобы обсудить требования к вашему применению, стратегию интеграции или потребности в индивидуальных системах.

Основные возможности в области полупроводниковых решений

  • Интегрированные системы привода и измерения
    Объединение механизмов ведения и обратной связи по положению непосредственно в механической оси позволяет уменьшить суммарную погрешность, улучшить тепловые характеристики и упростить конструкцию оборудования.
     
  • Готовность к работе в вакууме и чистых помещениях
    Решения, совместимые с высоковакуумными средами и работой в чистых помещениях для процессов, чувствительных к загрязнению.
     
  • Термическая и динамическая стабильность
    Механически и термически стабильные конструкции, разработанные для обеспечения постоянной точности в изменяющихся условиях процесса.
     
  • Экспертиза на системном уровне
    От отдельных компонентов до полных многоосевых систем, разработанных, собранных и проверенных в соответствии со спецификациями OEM.

Загрузки / Каталог продукции

Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.Скачать сейчас
The secret of linear technolgy
The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.Скачать сейчас
Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting
Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.Скачать сейчас

Сопутствующие продукты

Системы точного позиционирования и многоосевые решения

Системы точного позиционирования и многоосевые решения

Компания SCHNEEBERGER разрабатывает и поставляет индивидуальные системы точного позиционирования для полупроводникового оборудования — от отдельных критически важных осей до полностью интегрированных многоосевых подсистем.

Читать далее
Точное наведение с интегрированной системой измерения

Точное наведение с интегрированной системой измерения

  • MINIRAIL с MINISAM – миниатюрная направляющая с абсолютным измерением, разрешение 100 нм, доступные интерфейсы: BiSS/SSI, ABZ, UVW, SPI, аналоговый Sin/Cos
  • MINIRAIL с MINISCALE PLUS / MSQScale – миниатюрная направляющая с инкрементальным измерением, разрешение до 0,1 мкм
  • MONORAIL AMS – линейная направляющая со встроенным магниторезистивным энкодером, аналоговый или цифровой интерфейс, длина перемещения до 3 м на рельс, неограниченная длина перемещения с AMS Long
Долгосрочная смазка с LUBE-S

Долгосрочная смазка с LUBE-S

  • MINIRAIL -LUBE-S – Безобслуживаемая эксплуатация до 20 000 км при нормальных условиях и заданной нагрузке. Размеры каретки и рабочие характеристики остаются неизменными
  • В целом SCHNEEBERGER предлагает широкий ассортимент специализированных смазочных материалов для таких применений, как:
    •  Пищевая промышленность и медицинские технологии
    • Высокоскоростные применения или применения при низких температурах
    • Чистые помещения
    • Вакуумные системы
    • Применения с коротким ходом
Прецизионные приводы, совместимые с вакуумной средой

Прецизионные приводы, совместимые с вакуумной средой

  • MINISLIDE – микро-столы без трения со сверхвысокой жесткостью (доступно управление сепаратором), совместимы с вакуумными системами до 10-9 мбар
  • FORMULA-S – высокоскоростные линейные подшипники (доступно управление сепаратором), совместимы с вакуумными системами до 10-7 мбар
Высокоточные приводы для позиционирования в полупроводниковой промышленности

Высокоточные приводы для позиционирования в полупроводниковой промышленности

  • Прецизионные шлицевые винты с диаметром от 3 до 160 мм
  • Предварительная натяжка для устранения осевого люфта, несколько классов точности
  • Варианты из нержавеющей стали для чистых помещений
Конструкционные решения с гашением вибраций

Конструкционные решения с гашением вибраций

  • Превосходное подавление вибраций для контрольно-измерительных приборов
  • Высокая термостабильность и низкий уровень дрейфа
  • Химическая стойкость и совместимость с чистыми помещениями
  • Прецизионный монтаж направляющих, двигателей и шариковых винтов

Примеры применения

Системы контроля и метрологии пластин

Литографические подсистемы и подсистемы обработки масок

Оборудование для сборки внутренних компонентов и современной упаковки

Прецизионные столы для захвата-установки и выравнивания

Вакуумные системы и оси перемещения для чистых помещений

Системы позиционирования с большим ходом, требующие субмикронной точности

Опции продукта

Настраиваемые опции, адаптированные к вашим задачам

Направляющие KCN/KCS с максимальной жесткостью и точностью

Направляющие KCN/KCS с максимальной жесткостью и точностью

Компания SCHNEEBERGER известна своим высочайшим уровнем точности и разрабатывает и поставляет продукты, идеально подходящие для этого сегмента промышленности. Они отличаются гибкостью конструкции, особенно в ситуациях, когда требуется высокая грузоподъемность и точное позиционирование в самых ограниченных пространствах.

Подробнее о направляющих KCN/KCS

Система измерения

Система измерения

Абсолютные измерительные системы SAM и инкрементная измерительная система Scale объединяют в себе функции «наведения» и «измерения» в высокоинтегрированной конструкции.

Оптимизировано для применения в чистых помещениях

Оптимизировано для применения в чистых помещениях

Оптимизированные продукты для сложных условий эксплуатации с смазкой для использования в чистых помещениях и в соответствии с требованиями FDA, специальными процессами очистки и упаковки, коррозионно-стойкими материалами и полной прослеживаемостью продукции.

У вас есть вопросы?

Телефон +41 62 918 41 11

Latest news

[Translate to Russisch:]

ROTARY CLUB Langenthal visits SCHNEEBERGER

This week, we welcomed the Rotary Club Langenthal and numerous partners to our new Plant 3 in Roggwil.

Read article
Фотоника – искусство точного управления светом

Фотоника – искусство точного управления светом

SCHNEEBERGER устанавливает новые стандарты в фотонике

Read article
SCHNEEBERGER gear racks now available online

SCHNEEBERGER gear racks now available online

Discover selected SCHNEEBERGER gear racks now available in the e-shop – fast, precise, and ready when you are.

Read article
ЭЛЕКТРОННЫЕ НОВОСТИ SCHNEEBERGER
Эксклюзивные преимущества для подписчиков рассылки:
  • Новые продукты и инновации
  • Будьте в курсе тенденций и развития рынка
  • Информация о выставках и мероприятиях
SCHNEEBERGER Newsletter SCHNEEBERGER Newsletter