Industrie des semi-conducteurs

Les performances des équipements pour semi-conducteurs sont déterminées par la précision de positionnement, la stabilité thermique, le comportement vibratoire et la fiabilité à long terme.
SCHNEEBERGER fournit des solutions intégrées de mouvement linéaire, de mesure et structurelles conçues pour répondre aux exigences les plus strictes dans les équipements de traitement de wafers, d'inspection, de métrologie et d'assemblage avancé.

Nous aidons les fabricants d'équipements pour semi-conducteurs à simplifier l'architecture des systèmes, à réduire l'accumulation d'erreurs et à obtenir des performances stables et reproductibles sur toute la durée de vie de la machine.

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Contactez nos spécialistes semi-conducteurs pour discuter de vos exigences d'application, de votre stratégie d'intégration ou de vos besoins en systèmes personnalisés.

Compétences clés dans le secteur des semi-conducteurs

Mouvement + Mesure intégrés
L'intégration du guidage et de la mesure de position directement dans l'axe mécanique réduit l'accumulation des tolérances, améliore le comportement thermique et simplifie la conception de la machine.
Compatible vide et salle blanche
Solutions compatibles avec les environnements à vide poussé et le fonctionnement en salle blanche pour les processus sensibles à la contamination.
Stabilité thermique et dynamique
Conceptions mécaniquement et thermiquement stables, conçues pour une précision constante dans des conditions de processus variables.
Expertise au niveau système
Des composants individuels aux systèmes multi-axes complets, conçus, assemblés et validés selon les spécifications OEM.

Téléchargements / Catalogue produit

Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.Télécharger maintenant

The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.Télécharger maintenant

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.Télécharger maintenant

Produits associés

Systèmes de positionnement de précision et solutions multiaxiales

SCHNEEBERGER conçoit et fournit des systèmes de positionnement de précision sur mesure pour les équipements de semi-conducteurs, allant d'un seul axe critique à des sous-systèmes multiaxiaux entièrement intégrés.

Guidage de précision avec système de mesure intégré

MINIRAIL avec MINISAM – guidage miniature avec mesure absolue, résolution de 100 nm disponible Interfaces Ports : BiSS/SSI, ABZ, UVW, SPI, analogique Sin/Cos
MINIRAIL avec MINISCALE PLUS / MSQScale – guidage miniature avec mesure incrémentale, résolution jusqu'à 0,1 μm
MONORAIL AMS – guidage linéaire avec codeur magnéto-résistif intégré, interface analogique ou numérique, course jusqu'à 3 m par rail, course illimitée avec AMS Long

Lubrification longue durée avec LUBE-S

MINIRAIL -LUBE-S – Fonctionnement sans maintenance jusqu'à 20 000 km dans des conditions normales et sous charge spécifiée. Les dimensions du chariot et les performances restent inchangées
En général, SCHNEEBERGER propose une large gamme de lubrifiants adaptés pour des applications telles que :
- Industries alimentaires et technologies médicales
- Applications à haute vitesse ou à basse température
- Environnements de salles blanches
- Fonctionnement sous vide
- Applications à course courte

Mouvement de précision compatible avec le vide

MINISLIDE – tables de guidage linéaire miniatures à très haute rigidité (contrôle de cage disponible), compatibles vide jusqu'à 10-9 mbar
FORMULA-S – paliers linéaires haute vitesse (contrôle de cage disponible), compatibles vide jusqu'à 10-7 mbar

Entraînements de précision pour le positionnement dans l'industrie des semi-conducteurs

Vis à billes rectifiées de précision, diamètres de 3 mm à 160 mm
Préchargées pour un jeu axial nul, plusieurs classes de précision
Options en acier inoxydable pour les environnements de salle blanche

Solutions structurelles à amortissement des vibrations

Excellent amortissement des vibrations pour les outils d'inspection et de métrologie
Grande stabilité thermique et faible dérive
Résistance chimique et compatibilité avec les salles blanches
Montage de précision des guides, moteurs et vis à billes

Exemples d'application

Systèmes d'inspection et de métrologie de plaquettes

Sous-systèmes de lithographie et de manipulation de masques

Équipements d'assemblage de circuits intégrés et de conditionnement de pointe

Plateaux de placement et d'alignement de précision

Axes de mouvement pour le vide et les salles blanches

Systèmes de positionnement à longue course nécessitant une précision submicronique

Options produit

Options configurables adaptées à votre application

Guides KCN/KCS offrant une rigidité et une précision maximales

SCHNEEBERGER est réputé pour son niveau de précision exceptionnel et développe et distribue des produits parfaitement adaptés à ce segment industriel. Ceux-ci sont flexibles dans leur conception, en particulier dans les situations où des capacités de charge élevées et un positionnement précis sont requis dans des espaces très restreints.

Découvrez en détail les rails de guidage KCN/KCS

Système de mesure

Les systèmes de mesure absolue SAM et le système de mesure incrémentale Scale combinent “guidage” et “mesure” dans une conception hautement intégrée.

Optimisé pour les applications en salle blanche

Produits optimisés pour les applications exigeantes avec lubrification pour utilisation en salle blanche et conforme aux normes FDA, processus de nettoyage et d'emballage spéciaux, matériaux résistants à la corrosion et traçabilité complète des produits.

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