Yarı iletken endüstrisi

Yarı iletken ekipmanlarının performansı, konumlandırma hassasiyeti, termal stabilite, titreşim davranışı ve uzun vadeli güvenilirlik ile tanımlanır.
SCHNEEBERGER, wafer işleme, muayene, metroloji ve gelişmiş paketleme ekipmanlarında en zorlu gereksinimleri karşılamak üzere tasarlanmış entegre lineer hareket, ölçüm ve yapısal çözümler sunar.

Yarı iletken OEM'lerinin sistem mimarisini basitleştirmelerine, hata yığılmasını azaltmalarına ve makinenin tüm ömrü boyunca kararlı, tekrarlanabilir performans elde etmelerine yardımcı oluyoruz.

SCHNEEBERGER ile Ortaklık Kurun
Uygulama gereksinimlerinizi, entegrasyon stratejinizi veya özel sistem ihtiyaçlarınızı görüşmek için yarı iletken uzmanlarımızla iletişime geçin.

Temel Yarı iletkenler Yetenekleri

Entegre Hareket + Ölçüm
Kılavuzlama ve konum geri bildiriminin doğrudan mekanik eksene entegre edilmesi, tolerans yığılmasını azaltır, termal davranışı iyileştirir ve makine tasarımını basitleştirir.
Vakum ve Temiz Oda Uyumlu
Yüksek vakum ortamları ve kontaminasyona duyarlı prosesler için temiz oda çalışmasıyla uyumlu çözümler.
Termal ve Dinamik Kararlılık
Değişen proses koşulları altında tutarlı hassasiyet için tasarlanmış mekanik ve termal olarak kararlı yapılar.
Sistem Düzeyinde Uzmanlık
Bireysel bileşenlerden eksiksiz çok eksenli sistemlere kadar, OEM spesifikasyonlarına göre tasarlanmış, monte edilmiş ve doğrulanmış çözümler.

İndirmeler / Ürün kataloğu

Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.Şimdi İndirin

The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.Şimdi İndirin

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.Şimdi İndirin

İlgili ürünler

Hassas Konumlandırma Sistemleri ve Çok Eksenli Çözümler

SCHNEEBERGER, yarı iletken ekipmanları için tek bir kritik eksenden tamamen entegre çok eksenli alt sistemlere kadar, müşteriye özel hassas konumlandırma sistemleri tasarlar ve sunar.

Daha fazla oku

Entegre Ölçüm Özelliğine Sahip Hassas Yönlendirme

MINISAM ile MINIRAIL – mutlak ölçüm özellikli minyatür kılavuz, 100 nm çözünürlük mevcut Arayüzler Portlar: BiSS/SSI, ABZ, UVW, SPI, analog Sin/Cos
MINISCALE PLUS / MSQScale ile MINIRAIL – artımlı ölçüm özellikli minyatür kılavuz, 0,1 μm'ye kadar çözünürlük
MONORAIL AMS – gömülü manyetik direnç kodlayıcılı lineer kılavuz, analog veya dijital arayüz, ray başına 3 m'ye kadar hareket mesafesi, AMS Long ile sınırsız hareket mesafesi

LUBE-S ile Uzun Süreli Yağlama

MINIRAIL -LUBE-S – Normal koşullar ve belirtilen yük altında 20.000 km'ye kadar bakım gerektirmeyen çalışma. Taşıyıcı boyutları ve performansı değişmeden kalır
Genel olarak, SCHNEEBERGER aşağıdaki gibi uygulamalar için çeşitli özel yağlayıcılar sunar:
- Gıda ve MedTech endüstrileri
- Yüksek hızlı veya düşük sıcaklıklı uygulamalar
- Temiz oda ortamları
- Vakum çalışması
- Kısa stroklu uygulamalar

Vakumla Uyumlu Hassas Hareket

MINISLIDE – ultra yüksek rijitlikteki mikro sürtünmesiz tablolar (kafes kontrolü mevcut), 10-9 mbar'a kadar vakum uyumlu
FORMULA-S – yüksek hızlı doğrusal yataklar (kafes kontrolü mevcut), 10-7 mbar'a kadar vakum uyumlu

Yarı İletken Konumlandırma için Hassas Tahrik Sistemleri

Hassas taşlanmış bilyalı vidalar, 3 mm ila 160 mm çap aralığı
Eksenel boşluğu sıfırlayacak şekilde ön yüklemeli, çeşitli hassasiyet sınıfları
Temiz oda ortamları için paslanmaz çelik seçenekleri

Titreşim Sönümlemeli Yapısal Çözümler

Denetim ve metroloji araçları için mükemmel titreşim sönümleme
Yüksek termal kararlılık ve düşük sapma davranışı
Kimyasal maddelere dayanıklı ve temiz oda uyumlu
Kılavuzların, motorların ve bilyalı vidaların hassas montajı

Uygulama örnekleri

Wafer muayene ve metroloji sistemleri

Litografi ve maske taşıma alt sistemleri

Arka uç montaj ve ileri düzey paketleme ekipmanları

Hassas yerleştirme ve hizalama sistemleri

Vakum ve temiz oda hareket eksenleri

Mikron altı hassasiyet gerektiren uzun hareket mesafeli konumlandırma sistemleri

Ürün seçenekleri

Uygulamanıza Uygun Yapılandırılabilir Seçenekler

Maksimum rijitlik ve hassasiyete sahip KCN/KCS kılavuz rayları

SCHNEEBERGER, en yüksek hassasiyet seviyesi ile tanınır ve bu endüstriyel segment için mükemmel şekilde uygun ürünler geliştirir ve dağıtır. Bu ürünler, özellikle dar alanlarda yüksek yük kapasitesi ve hassas konumlandırma gereken durumlarda esnek bir tasarıma sahiptir.

KCN/KCS kılavuz raylarını detaylı inceleyin

Ölçüm Sistemi

Mutlak ölçüm sistemleri SAM ve artımlı ölçüm sistemi Scale, yüksek düzeyde entegre bir tasarımda “kılavuzlama” ve “ölçüm” işlevlerini bir araya getirir.

Temiz oda uygulamaları için optimize edilmiştir

Temiz oda ve FDA kullanımı için yağlama, özel temizlik ve paketleme süreçleri, korozyona dayanıklı malzemeler ve tam ürün izlenebilirliği ile zorlu uygulamalar için optimize edilmiş ürünler.