Industria dei semiconduttori

Le prestazioni delle apparecchiature per semiconduttori sono definite dalla precisione di posizionamento, dalla stabilità termica, dal comportamento vibrazionale e dall'affidabilità a lungo termine.
SCHNEEBERGER fornisce soluzioni integrate di movimento lineare, misurazione e strutturali progettate per soddisfare i requisiti più esigenti in ambito di lavorazione wafer, ispezione, metrologia e strumenti di packaging avanzato.

Aiutiamo i produttori OEM del settore semiconduttori a semplificare l'architettura dei sistemi, ridurre l'accumulo di errori e ottenere prestazioni stabili e ripetibili per l'intera vita utile della macchina.

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Contatta i nostri specialisti in soluzioni per semiconduttori per discutere i requisiti della tua applicazione, la strategia di integrazione o le esigenze di sistemi personalizzati.

Capacità principali per i semiconduttori

Movimento + Misurazione Integrati
L'integrazione della guida e del feedback di posizione direttamente nell'asse meccanico riduce l'accumulo di tolleranze, migliora il comportamento termico e semplifica la progettazione della macchina.
Compatibile con Vuoto e Camera Bianca
Soluzioni compatibili con ambienti ad alto vuoto e funzionamento in camera bianca per processi sensibili alla contaminazione.
Stabilità Termica e Dinamica
Progettazioni meccanicamente e termicamente stabili, ingegnerizzate per garantire un'accuratezza costante in condizioni di processo variabili.
Competenza a Livello di Sistema
Dai singoli componenti ai sistemi completi multi-asse, progettati, assemblati e validati secondo le specifiche OEM.

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Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.Scarica ora

The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.Scarica ora

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.Scarica ora

Prodotti correlati

Sistemi di posizionamento di precisione e soluzioni multiasse

SCHNEEBERGER progetta e fornisce sistemi di posizionamento di precisione su misura per le apparecchiature per semiconduttori, dai singoli assi critici ai sottosistemi multiasse completamente integrati.

Guida di precisione con misurazione integrata

MINIRAIL con MINISAM – guida miniaturizzata con misurazione assoluta, risoluzione 100 nm disponibile Interfacce Porte: BiSS/SSI, ABZ, UVW, SPI, analogico Sin/Cos
MINIRAIL con MINISCALE PLUS / MSQScale – guida miniaturizzata con misurazione incrementale, risoluzione fino a 0,1 μm
MONORAIL AMS – guida lineare con encoder magnetoresistivo integrato, interfaccia analogica o digitale, corsa fino a 3 m per guida, corsa illimitata con AMS Long

Lubrificazione a lungo termine con LUBE-S

MINIRAIL -LUBE-S – Funzionamento esente da manutenzione fino a 20'000 km in condizioni normali e con carico specificato. Le dimensioni del carrello e le prestazioni rimangono invariate
In generale, SCHNEEBERGER offre una varietà di lubrificanti specifici per applicazioni quali:
- Industrie alimentari e MedTech
- Applicazioni ad alta velocità o a bassa temperatura
- Ambienti cleanroom
- Funzionamento in vuoto
- Applicazioni a corsa breve

Movimento di precisione compatibile con il vuoto

MINISLIDE – tavole micrometriche senza attrito ad altissima rigidità (controllo della gabbia disponibile), compatibili con il vuoto fino a 10-9 mbar
FORMULA-S – cuscinetti lineari ad alta velocità (controllo della gabbia disponibile), compatibili con il vuoto fino a 10-7 mbar

Azionamenti di precisione per il posizionamento nel settore dei semiconduttori

Viti a ricircolo di sfere rettificate con precisione, diametri da 3 mm a 160 mm
Precaricate per un gioco assiale pari a zero, diverse classi di precisione
Opzioni in acciaio inossidabile per ambienti in camera bianca

Soluzioni strutturali con smorzamento delle vibrazioni

Eccellente smorzamento delle vibrazioni per strumenti di ispezione e metrologia
Elevata stabilità termica e bassa deriva
Resistenti agli agenti chimici e compatibili con le camere bianche
Montaggio di precisione di guide, motori e viti a ricircolo di sfere

Esempi di applicazione

# Sistemi di ispezione e metrologia per wafer

Sottosistemi di litografia e movimentazione maschere

Apparecchiature per l'assemblaggio del backend e il confezionamento avanzato

Tavole di posizionamento e allineamento di precisione

Assi di movimento per vuoto e camere bianche

Sistemi di posizionamento a corsa lunga che richiedono una precisione dell'ordine dei submicron

Opzioni prodotto

Opzioni configurabili su misura per la tua applicazione

Guide KCN/KCS con massima rigidità e precisione

SCHNEEBERGER è nota per il suo altissimo livello di precisione e sviluppa e distribuisce prodotti perfettamente adatti a questo segmento industriale. Questi prodotti sono flessibili nel design, soprattutto in situazioni in cui sono richieste elevate capacità di carico e un posizionamento preciso in spazi molto ristretti.

Scopri in dettaglio le guide KCN/KCS

Sistema di misurazione

I sistemi di misura assoluti SAM e il sistema di misura incrementale Scale combinano le funzioni di “guida” e “misura” in un design altamente integrato.

Ottimizzato per applicazioni in camera bianca

Prodotti ottimizzati per applicazioni esigenti con lubrificazione per camere bianche e uso FDA, processi speciali di pulizia e confezionamento, materiali resistenti alla corrosione e tracciabilità completa del prodotto.