В следующей таблице представлены типичные характеристики производительности наших индивидуальных высокоточных систем движения.
В зависимости от конкретной области применения системы могут быть спроектированы для соответствия самым высоким требованиям по размерам, точности, динамическим характеристикам и совместимости с рабочей средой, что особенно важно для высокопроизводительных систем, чистых помещений и вакуумных применений.
Ключевые характеристики производительности (типичные диапазоны)
| Параметр | Типичные показатели |
|---|
| Габариты | От нескольких миллиметров до нескольких метров |
| Точность позиционирования | < 0,5 мкм на ходе 500 мм |
| Повторяемость | < 50 нм благодаря специализированной калибровке |
| Время перемещения и стабилизации | Десятки миллисекунд для перемещения на десятки миллиметров, включая стабилизацию < 10 нм |
| Джиттер | До уровня пикометров |
| Чистота | Совместимость с чистыми помещениями ISO класса 1 |
| Совместимость с вакуумом | До 10⁻⁷ мбар |
| Магнитные возмущения | Неповторяющиеся возмущения ≤ 1 мкТл |
- Фактические характеристики зависят от конфигурации системы и требований конкретного применения.