Aşağıdaki tablo, özelleştirilmiş hassas hareket sistemlerimizin tipik performans özelliklerini özetlemektedir.
Belirli uygulamaya bağlı olarak bu sistemler; boyut, hassasiyet, dinamik davranış ve çevresel uyumluluk açısından zorlu gereksinimleri karşılayacak şekilde tasarlanabilir. Bunlar yüksek performanslı, temiz oda ve vakum uygulamaları için kritik unsurlardır.
Temel performans özellikleri (tipik aralıklar)
| Parametre | Tipik performans kapasitesi |
|---|
| Boyutlar | Birkaç milimetreden birkaç metreye kadar |
| Konumlandırma doğruluğu | 500 mm hareket mesafesinde < 0,5 µm |
| Tekrarlanabilirlik | Uygulamaya özel haritalama ile < 50 nm |
| Hareket ve yerleşme süresi | Onlarca milimetrelik hareket için onlarca milisaniye, yerleşme < 10 nm |
| Jitter | Pikometre seviyesine kadar |
| Temizlik | ISO Sınıf 1 temiz oda ortamlarıyla uyumlu |
| Vakum uyumluluğu | 10⁻⁷ mbar seviyesine kadar |
| Manyetik bozulmalar | Tekrarlanamayan bozulmalar ≤ 1 µT |
- Gerçek performans, sistem konfigürasyonuna ve uygulama gereksinimlerine bağlıdır.