Le tableau suivant résume les caractéristiques de performance typiques de nos systèmes de mouvement de précision personnalisés.
Selon l'application spécifique, ces systèmes peuvent être conçus pour répondre à des exigences élevées en matière de dimensions, de précision, de comportement dynamique et de compatibilité environnementale, des facteurs essentiels pour les applications haute performance, les salles blanches et le vide.
Caractéristiques de performance clés (plages typiques)
| Paramètre | Performances typiques |
|---|
| Dimensions | De quelques millimètres à plusieurs mètres |
| Précision de positionnement | < 0,5 µm sur une course de 500 mm |
| Répétabilité | < 50 nm grâce à une cartographie spécifique à l'application |
| Temps de déplacement et de stabilisation | Quelques dizaines de millisecondes pour des déplacements de quelques dizaines de millimètres, avec stabilisation < 10 nm |
| Jitter | Jusqu'au niveau du picomètre |
| Propreté | Compatible avec les environnements de salle blanche ISO Classe 1 |
| Compatibilité vide | Jusqu'à 10⁻⁷ mbar |
| Perturbations magnétiques | Perturbations non répétables ≤ 1 µT |
- Les performances réelles dépendent de la configuration du système et des exigences de l'application.