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맞춤형 솔루션

산업 분야와 관계없이, 당사는 까다로운 모션 요구사항을 성능과 비용의 최적의 균형을 갖춘 고객 맞춤형 솔루션으로 구현합니다.

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반도체 산업용 실제 진공 스테이지 사례
반도체 산업용 실제 진공 스테이지 사례

다음 표는 당사의 맞춤형 정밀 모션 시스템의 대표적인 성능 특성을 요약한 것입니다.

적용 분야에 따라 이러한 시스템은 크기, 정밀도, 동특성 및 환경 적합성 측면에서 매우 까다로운 요구사항을 충족하도록 설계될 수 있으며, 이는 고성능, 클린룸 및 진공 응용 분야에서 중요한 요소입니다.

주요 성능 특성(일반 범위)

항목일반적인 성능
크기수 mm에서 수 m까지
위치 결정 정확도500 mm 이동 거리 기준 < 0.5 µm
반복 정밀도응용 분야별 보정을 통해 < 50 nm
이동 및 안정화 시간수십 mm 이동 시 수십 ms, 안정화 < 10 nm
지터피코미터 수준까지 가능
청정도ISO Class 1 클린룸 환경 지원
진공 적합성최대 10⁻⁷ mbar
자기 교란비반복성 교란 ≤ 1 µT

 - 실제 성능은 시스템 구성과 적용 요구사항에 따라 달라질 수 있습니다.

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