반도체 솔루션

SCHNEEBERGER 제품에 관심을 가져주셔서 대단히 감사합니다. 귀하의 요구와 당사가 제안한 솔루션에 대해 더 논의하려면 언제든지 연락주시기 바랍니다. 귀하의 요청을 보내주시면 답변해 드리겠습니다.

당사는 귀하의 다양한 요청에 대해 최적의 맞춤형 솔루션을 제안할 수 있습니다.

25년 이상 SEMI 시장에서 일해온 본사의 저명한 팀이 매우 짧은 개발 시간에 매우 구체적인 요구와 생산 증가 및 감소를 완벽하게 다룹니다.

본사는 나노미터 안정성, ms 이동 및 정착 시간에 대한 전문성을 갖추었습니다. 본사는 최선을 다해 귀하의 요구를 이해하고 완전한 통합 이동 솔루션을 제공합니다.

POI*에서 "반도체"에 대한 일반적인 사양

  • 구성:  XYTZ 또는 + Z
  • 이동:  최대 600 x 750mm(450mm 웨이퍼)
  • 정확도: ≤ 1 µm(TIR에 매핑됨)
  • 반복성: ≤ 0.1 µm
  • 안정성:  ≤ 2 nm(1s ptp 이내)
  • 이동 및 장착: < 100ms(25mm인 경우)
  • Cst 속도: < 0.01%(<100mm/s에서)
  • 직선성: < 5um(TIR에서)
  • 편평성:  < 5um(TIR에서

*Point Of Interest

Systems 영화

당사의 고객 요건:
신뢰할 수 있고 정밀한 제품.

당사의 솔루션:
맞춤형 시스템, 통합된 제어 장치를 갖춘 단일 축부터 매우 복잡한 기계까지 가능.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

보도 자료


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