半导体解决方案

非常感谢您对 SCHNEEBERGER 产品感兴趣。我们很乐意联系您,以了解您的需求并提出我们的相应解决方案。请将您的需求发送给我们,我们将做出回复。

如果您的请求来自前、后端,则独立,我们可提议您采用正确的定制解决方案,以满足您具有挑战性的要求。

25 年来,我们的团队与 SEMI 市场的最大合作伙伴携手,可满足非常短的开发时间和生产上升/下降等需求。

我们在纳米稳定性和毫秒运动与稳定次数方面无可比拟。我们完全明白您的需求,并针对性地制定完全集成的运动解决方案。

“半导体”兴趣点*的典型规格

  • 配置:XYTZ 或 + Z
  • 行程:最大 600 x 750mm(450mm 晶片)
  • 精确度:≤ 1 µm(超过 TIR,映射)
  • 可重复性:≤ 0.1 µm
  • 稳定性:≤ 2 nm(1s ptp 之内)
  • 运动与稳定:25mm 时 < 100ms
  • Cst 速率:<100mm/s 时 < 0.01%
  • 平直度:超过 TIR 时 < 5um
  • 平坦度:超过 TIR 时 < 5um

*兴趣点

Systems 电影

お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。

当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

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