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Soluzioni personalizzate

Indipendentemente dal settore, trasformiamo requisiti di movimento complessi in soluzioni ottimizzate e specifiche per il cliente, con il giusto equilibrio tra prestazioni e costi.

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Esempio di una piattaforma per il vuoto reale per l'industria dei semiconduttori
Esempio di una piattaforma per il vuoto reale per l'industria dei semiconduttori

La tabella seguente riassume le caratteristiche prestazionali tipiche dei nostri sistemi di movimento di precisione personalizzati.

A seconda dell'applicazione specifica, questi sistemi possono essere progettati per soddisfare requisiti estremamente elevati in termini di dimensioni, precisione, comportamento dinamico e compatibilità ambientale, fattori chiave per applicazioni ad alte prestazioni, in camera bianca e sotto vuoto.

Caratteristiche prestazionali principali (intervalli tipici)

ParametroPrestazioni tipiche
DimensioniDa pochi millimetri fino a diversi metri
Precisione di posizionamento< 0,5 µm su una corsa di 500 mm
Ripetibilità< 50 nm mediante mappatura specifica dell'applicazione
Tempo di movimento e assestamentoAlcune decine di millisecondi per movimenti di alcune decine di millimetri, con assestamento < 10 nm
JitterFino al livello dei picometri
PuliziaCompatibile con ambienti in camera bianca ISO Classe 1
Compatibilità con il vuotoFino a 10⁻⁷ mbar
Disturbi magneticiDisturbi non ripetibili ≤ 1 µT

 - Le prestazioni effettive dipendono dalla configurazione del sistema e dai requisiti applicativi.

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