Vuoto

Vacuum positioning systems

Grazie per il vostro interesse verso i prodotti SCHNEEBERGER. Sarà un piacere contattarvi per conoscere meglio le vostre esigenze e discutere delle soluzioni da noi proposte. Inviateci la vostra richiesta e vi risponderemo.

Soluzioni per vuoto

EUV, degassaggio, tempo di pompaggio, stabilità e disturbi magnetici sono i parametri principali considerati durante la configurazione di un sistema a vuoto. Questi si aggiungono a tutti gli altri parametri fondamentali per una soluzione di movimento perfetta per ambienti complessi e prestazioni impegnative.

I nostri sistemi sono specificatamente sviluppati per poter funzionare a pressioni parziali fino a 10^9 mbar integrando componenti specifici da motori lineari (incluse schermature specifiche) a unità a motore piezoelettrico e cavi speciali.

Tutte le parti pertinenti lavorate a macchina (alluminio e/o SUS) sono prodotte internamente per mantenere il livello di pulizia e degassamento perfettamente controllato.

Tutti i sistemi a vuoto sono montati, collaudati e imballati nella nostra camera bianca, configurata in modo specifico per rispondere al nostro ritmo di produzione.

Specifiche tipiche per "vuoto" in corrispondenza del punto d'interesse*

  • Configurazione:  XYZT o + Z (inclinazione?)
  • Corsa:  fino a 400 x 500 mm
  • Precisione: ≤ 10 µm (su TIR, mappato)
  • Ripetibilità: ≤ 0,1 µm
  • Stabilità:  ≤ 2 nm (entro 1s ptp)
  • Spostamento e assestamento < 120 ms per 25 mm
  • Velocità Cst: < 0,01% a <100 mm/s
  • Rettilinearità: < 5 um su 300 mm
  • Planarità:  < 5 um su 300 mm

*Punto di interesse

Sitemi film

Esigenze dei nostri clienti:
prodotti affidabili e precisi.

La nostra soluzione:
sistemi su misura, da assi singoli con unità di controllo integrate fino a macchine molto complesse.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

Comunicati stampa

  • New positioning system doubles positioning speed for 450 mmRevolutionary double gantry from Schneeberger. Known for innovation, Swiss firm Schneeberger AG Lineartechnik is currently developing a new positioning system that will bear the name Double Gantry.
  • Sistemi di posizionamento Schneeberger Sistemi di posizionamento creati su misura per il cliente in una camera bianca innovativa. I sistemi di posizionamento utilizzati in settori industriali molto delicati, ad esempio nell’industria dei semiconduttori o delle tecnologie mediche o solari, devono garantire la massima precisione e affidabilità e allo stesso tempo anche un grado estremo di purezza.
  • Sistemi di posizionamento Schneeberger - Creati su misura per il clienSistemi creati in una camera bianca innovativa. I sistemi di posizionamento utilizzati nei diversi settori industriali molto delicati, devono garantire la massima precisione.

Contatti:

Adrian Raible


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Roggwil (Svizzera):

Sede della società SCHNEEBERGER, sedi delle unità di business

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