Vakum ve UHV Uygulamaları için Hareket Çözümleri

Portföyümüz, sıkı vakum koşullarında güvenilir şekilde çalışacak biçimde tasarlanmış hassas bileşenlerden tamamen entegre, siparişe özel hareket sistemlerine kadar uzanmaktadır.

Yarı iletken üretiminde SCHNEEBERGER çözümleri; elektron demeti (E-Beam) inceleme, litografi ve metroloji gibi kritik süreçleri desteklemektedir. Bu uygulamalarda son derece yüksek konumlandırma hassasiyeti, uzun vadeli kararlılık, düşük gaz salınımı ve minimum manyetik bozulma hayati önem taşımaktadır. Derin uygulama uzmanlığımız sayesinde vakum uyumluluğu, temizlik, termal kararlılık ve nanometre seviyesinde performans gereksinimlerini karşılayan hareket sistemleri geliştiriyoruz.

Aynı uzmanlık; analitik cihazlar ve araştırma ortamları dâhil olmak üzere yaşam ve malzeme bilimlerindeki ileri uygulamalara da uygulanmaktadır. Vakum ortamında hassas hareket, tekrarlanabilir ve güvenilir sonuçlar için kritik öneme sahiptir. Dikkatli malzeme seçimi, optimize edilmiş sistem mimarisi ve entegre mekatronik ve kontrol konseptleri sayesinde SCHNEEBERGER, tek eksenlerden tamamen entegre sistemlere kadar uygulamaya özel vakum çözümleri sunarak öngörülebilir performans ve uzun vadeli güvenilirlik sağlar.