半導体とエレクトロニクス

半導体装置の性能は、位置決め精度、熱安定性、振動特性、および長期信頼性によって決まります。

シュネーベルガーは、ウェーハ加工、検査、計測、および先進パッケージング装置における最も厳しい要件を満たすよう設計された、直線運動、計測、および構造に関する統合ソリューションを提供しています。

当社は、半導体OEMメーカーがシステムアーキテクチャを簡素化し、誤差の累積を低減し、装置の全寿命にわたって安定した再現性の高い性能を実現できるよう支援します。

シュネーベルガーとのパートナーシップ

お客様のアプリケーション要件、統合戦略、またはカスタムシステムのニーズについて、当社の半導体スペシャリストにご相談ください。

半導体ソリューションにおけるコア技術

統合された運動と測定
ガイダンスと位置フィードバックを機械軸に直接統合することで、公差の累積を削減し、熱挙動を改善し、機械設計を簡素化します。
真空ソリューションおよびクリーンルーム対応
高真空環境およびクリーンルーム運用に対応したソリューションで、汚染に敏感なプロセスに最適です。
熱的および動的安定性
プロセス条件の変化下でも一貫した精度を実現するために設計された、機械的および熱的に安定した設計。
システムレベルの専門知識
個別コンポーネントから完全な多軸システムまで、OEM仕様に基づいて設計、組立、検証を行います。

ダウンロード / 製品カタログ

Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.ダウンロード中

The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.ダウンロード中

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.ダウンロード中

高精度位置決めシステムおよび多軸ソリューション

シュネーベルガーは、半導体製造装置向けに、単一の重要軸から完全に統合された多軸サブシステムに至るまで、お客様のご要望に合わせた高精度位置決めシステムを設計・提供しています。

計測機能を統合した精密誘導

MINIRAIL with MINISAM – 分解能100 nmのアブソリュート測定を備えた小型ガイド、インターフェース：BiSS/SSI、ABZ、UVW、SPI、アナログSin/Cos
MINIRAIL with MINISCALE PLUS / MSQScale – 分解能0.1 μmのインクリメンタル測定を備えた小型ガイド
MONORAIL AMS – 磁気抵抗エンコーダ内蔵リニアガイド、アナログまたはデジタルインターフェース、レール1本あたり最大3mのストローク、AMS Longにより無制限のストローク

LUBE-Sによる長期潤滑

MINIRAIL -LUBE-S – 通常条件および規定荷重下で最大20,000 kmのメンテナンスフリー運転を実現。キャリッジの寸法と性能は変わりません
一般的に、SCHNEEBERGERは以下のような用途に適した各種潤滑剤を提供しています:
- 食品・医療技術産業
- 高速または低温用途
- クリーンルーム環境
- 真空ソリューション
- 短ストローク用途