シュネーベルガー社の超精密位置決めシステム – 超精密位置決めステージおよびモーションシステム

お客様のご要求仕様に応じた超精密位置決めステージシステム

半導体やエレクトロニクス、医療、太陽電池などの分野における製造検査装置で使用されている超精密位置決めステージシステムは、優れた運動性能を維持しながら同時に、高い精度と信頼性を保証する必要があります。