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カスタマイズソリューション

業界を問わず、当社は高度なモーション要求を、性能とコストの最適なバランスを実現した、お客様ごとの最適化ソリューションへと変換します。

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半導体業界向け実機真空ステージの例
半導体業界向け実機真空ステージの例

以下の表は、当社のカスタマイズされた高精度モーションシステムの代表的な性能特性をまとめたものです。

用途に応じて、これらのシステムはサイズ、精度、動特性、および環境適合性に関する厳しい要求に対応できるよう設計されています。これらは、高性能、クリーンルーム、および真空用途において重要な要素です。

主な性能特性(代表値)

項目代表的な性能
寸法数ミリメートルから数メートルまで
位置決め精度500 mm移動範囲で < 0.5 µm
繰返し精度アプリケーション固有のマッピングにより < 50 nm
移動および整定時間数十 mm の移動を数十 ms で実行し、整定精度 < 10 nm
ジッタピコメートルレベルまで対応
清浄度ISOクラス1クリーンルーム対応
真空適合性10⁻⁷ mbarまで対応
磁気外乱非再現性外乱 ≤ 1 µT

 - 実際の性能は、システム構成および用途要件によって異なります。

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