面向真空和超高真空（UHV）应用的运动控制解决方案

我们的产品组合涵盖精密组件以及完全集成的按需定制运动系统，可在严苛的真空环境下实现可靠运行。

在半导体制造领域，SCHNEEBERGER 的解决方案支持电子束（E-Beam）检测、光刻和计量等关键工艺，这些应用对超高定位精度、长期稳定性、低放气特性和极低磁场干扰有着严格要求。凭借深厚的应用专业知识，我们开发满足真空兼容性、洁净度、热稳定性以及纳米级性能要求的运动系统。

同样的专业能力也应用于生命科学和材料科学领域，包括分析仪器和科研环境，其中真空环境下的精密运动是实现可重复且可靠结果的关键。通过精心选择材料、优化系统架构以及集成机电与控制技术，SCHNEEBERGER 提供从单轴到完全集成系统的稳健真空解决方案，确保可预测的性能和长期可靠性。