Deutschland
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Vakuum Lösungen
EUV, Ausgasung, Pumpzeit, Stabilität und magnetische Störungen sind die Hauptpunkte, die beim Entwurf eines Vakuumsystems berücksichtigt werden müssen. Dazu kommen alle anderen Schlüsselparameter, die für eine perfekte Bewegungslösung für Ihre anspruchsvollen Umgebungen und Leistungen relevant sind.
Unsere Systeme können bei Unterdruck bis zu 10^9 mbar eingesetzt werden. Dies ermöglichen spezielle Komponenten, wie Linearantriebe (einschl. besonderer Abschirmung), Einheiten mit Piezoantrieb sowie besondere Kabel.
Alle relevanten Fertigungsteile (Aluminium bzw. Edelstahl) werden intern hergestellt, um die Reinheit und Ausgasung perfekt kontrollieren zu können.
Alle Vakuumsysteme werden in unserem Reinraum montiert, geprüft und verpackt. Dieser wurde speziell auf unseren Produktionsrhythmus angepasst.
Beispielspezifikationen für „Vakuumsysteme“ am POI*
- Konfiguration: XYZT oder + Z (Neigung?)
- Verfahrweg: bis zu 400 x 500 mm
- Genauigkeit: ≤ 10 µm (über den gesamten Messbereich, gemappt)
- Reproduzierbarkeit: ≤ 0,1 µm
- Stabilität: ≤ 2 nm (innerhalb von 1s ptp)
- Einschwingzeit: < 120 ms für 25 mm
- Cst-Geschwindigkeit: < 0,01 % bei <100 mm/s
- Geradheit: < 5 µm über 300 mm
- Ebenheit: < 5 µm über 300 mm
*Interessensfokus
Systeme Film
Das Bedürfnis unserer Kunden:
Zuverlässige und präzise Produkte.
Unsere Lösung:
Massgeschneiderte Systeme, von Einzelachsen mit integrierten Steuerungseinheiten bis hin zu hochkomplexen Maschinen.
SCHNEEBERGER Übersicht Linearführungen und Postioniersysteme
Fachartikel/Anwendungsbeispiele
Quantensprung in Sicht
Februar 2014
Bewegungen ohne Wenn und Aber
Hochgenau und schnell: Positioniersysteme für die Halbleiterindustrie verfahren mit bis zu 3 m/s bei 10 Beschleunigung
Pressemitteilungen
Neues Positioniersystem 450 mm verdoppelt Positioniergeschwindigkeit
Für Innovationen bekannt, entwickelt die Firma Schneeberger derzeit ein neues Positionier- und Bewegungssystem, das den Namen „Double Gantry“ tragen wird.
Kundenspezifische Positioniersysteme mit hohem Reinheitsgrad
Positioniersysteme, die in besonders anspruchsvollen Industriezweigen wie der Halbleiterindustrie, und weitere zum Einsatz kommen, müssen höchste Präzision sowie Zuverlässigkeit gewährleisten. 
SCHNEEBERGER Positioniersysteme
Kundenspezifische Positioniersysteme mit hohem Reinheitsgrad. Anforderungen, die Schneeberger Linear Technology mit seinen kundenspezifischen Lösungen bestens erfüllt.
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Roggwil (Schweiz):
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