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Kundenspezifische Lösungen

Unabhängig von der Branche verwandeln wir anspruchsvolle Bewegungsanforderungen in optimierte, kundenspezifische Lösungen mit der richtigen Balance zwischen Leistung und Kosten.

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Beispiel einer realen Vakuumplattform für die Halbleiterindustrie
Beispiel einer realen Vakuumplattform für die Halbleiterindustrie

Die folgende Tabelle fasst die typischen Leistungsmerkmale unserer kundenspezifischen Präzisionsbewegungssysteme zusammen.

Je nach Anwendung können diese Systeme so ausgelegt werden, dass sie höchste Anforderungen hinsichtlich Größe, Genauigkeit, Dynamik und Umgebungsverträglichkeit erfüllen – entscheidende Faktoren für Hochleistungs-, Reinraum- und Vakuumanwendungen.

Wichtige Leistungsmerkmale (typische Bereiche)

Parameter

Typische Leistungsfähigkeit

AbmessungenVon wenigen Millimetern bis zu mehreren Metern
Positioniergenauigkeit< 0,5 µm über 500 mm Verfahrweg
Wiederholgenauigkeit< 50 nm durch anwendungsspezifische Kalibrierung
Verfahr- und EinschwingzeitEinige zehn Millisekunden für Verfahrwege von einigen zehn Millimetern, einschließlich Einschwingzeit auf < 10 nm
JitterBis in den Pikometerbereich
ReinheitKompatibel mit Reinraumumgebungen der ISO-Klasse 1
VakuumtauglichkeitBis zu 10⁻⁷ mbar
Magnetische StörungenNicht reproduzierbare Störungen ≤ 1 µT

 - Die tatsächliche Leistung hängt von der Systemkonfiguration und den Anwendungsanforderungen ab.

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Anwendungsbeispiele

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Halbleiter Positioniersysteme für Die-Bonding, Advanced Packaging und Wafer-Inspektion: reinraum- und vakuumtauglich. Schweizer Engineering, europäische Fertigung.
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