狭いスペースでのガイドと計測
MINISCALE PLUS は常に高精度で信頼性があります。
統合型位置測定システム MINISCALE PLUS を搭載したプロファイルガイド MINIRAIL は、その精度と堅牢性で際立っています。測定は作業プロセス中に直接行われるため、アッベ誤差が大幅に削減されます。本製品は、高速および高加速度の作業環境に対応するために開発されました。さまざまなハイテク分野で活用されています。
統合型位置測定システム MINISCALE PLUS を搭載したプロファイルガイド MINIRAIL は、その精度と堅牢性で際立っています。測定は作業プロセス中に直接行われるため、アッベ誤差が大幅に削減されます。本製品は、高速および高加速度の作業環境に対応するために開発されました。さまざまなハイテク分野で活用されています。
本製品にご質問がある方は、メッセージをお送りください。販売担当社員が喜んでお力になります。
MINISCALE PLUS は、実績のあるミニチュアガイド MINIRAIL をベースにしています。そのため、MINISCALE PLUS には MINIRAIL のガイド仕様が適用されます。製品ラインアップは、8 種類のレール幅と最大 4 種類のキャリッジサイズの組み合わせが可能です。
MINISCALE PLUS は、実績のある MINIRAIL プロファイルガイドと統合型位置測定システムをコンパクトなユニットに組み合わせています。製品ラインアップには、すべてのキャリッジサイズと組み合わせ可能な 8 種類のレール幅(サイズ 7~42)が含まれます。MINISCALE PLUS は常に高精度で信頼性があります。測定は作業プロセス中に直接行われるため、アッベ誤差が大幅に削減されます。
このシステムは光学測定技術を用いており、動作中に非接触で位置を検出します。レールにレーザーで刻印されたスケールは、キャリッジ内のセンサーによって読み取られます。分解能は100 nmです。レール上のリファレンスマークにより、ゼロ位置の再現性のあるリファレンスが可能です。システムはアナログまたはデジタルの出力信号を提供します。
MINISCALE PLUS は高速および高加速度に対応するように設計されており、設置スペースが限られる用途に特に適しています:
医療およびラボ自動化: ピペッティング、分析、診断機器
半導体産業: ボンディング装置、検査システム
光学および計測技術: フォーカスユニット、顕微鏡ステージ
ロボティクスおよびマイクロオートメーション: ピックアンドプレースアプリケーション
ガイドと位置測定システムを1つの製品に統合することで、機械レイアウトのスペースを節約し、組立時間を短縮できます。センサーとスケールは保護された位置にあるため、汚れから守られています。シンプルに「Plug & Play」です。
MINISCALE PLUS システムは、センサーが直接キャリッジに統合されており、追加の設置スペースが不要です。別個の長さ測定システムが不要となり、設計の手間を大幅に削減できます。また、本システムはプラグアンドプレイ方式で調整が不要です。
測定は、100 μm ピッチの目盛りがレール表面に直接埋め込まれた構造で行われます。2つのLEDが構造化された表面を照らし、明暗パターンを生成します。センサーはこれらの光学信号を検出し、電気信号に変換し、インターフェースモジュールで処理されます。
インターフェースモジュールは、センサーからの信号を標準化された出力信号に変換するために必要です。アナログとデジタルのインターフェースモジュールがあり、4つの異なる筐体形式で提供されます。
インクリメンタル測定システムでは、固定のゼロ点を定義するためにリファレンスマークが必要です。マークはインクリメンタルトラックの隣にあるリファレンストラック上に配置され、センサーによっても読み取られます。
リファレンスマークは、目盛りと同期していれば任意の位置と個数で配置可能です。マーク間の最小距離は 1.5 mm、インクリメンタルトラックの端からは少なくとも 2 mm の距離を取る必要があります。
標準の解像度は 0.1 μm で、1 μm または 10 μm もオプションで提供されます。0.1 μm 解像度では、単方向精度 ±0.1 μm、双方向精度 ±0.2 μm を保証します。
アナログ出力(1 Vss / 120 Ω)とデジタル出力(TTL / RS 422規格)があります。
インターフェースモジュールをセンサーの近くに配置できない場合、延長セットを使用できます。センサーとモジュール間には 250 mm、400 mm、600 mm のフレキシブルフラットケーブル(FFC)を使用し、アダプターボードが付属しています。
MINISCALE PLUS システムは、センサーが直接キャリッジに統合されており、追加の設置スペースが不要です。別個の長さ測定システムが不要となり、設計の手間を大幅に削減できます。また、本システムはプラグアンドプレイ方式で調整が不要です。
測定は、100 μm ピッチの目盛りがレール表面に直接埋め込まれた構造で行われます。2つのLEDが構造化された表面を照らし、明暗パターンを生成します。センサーはこれらの光学信号を検出し、電気信号に変換し、インターフェースモジュールで処理されます。
インターフェースモジュールは、センサーからの信号を標準化された出力信号に変換するために必要です。アナログとデジタルのインターフェースモジュールがあり、4つの異なる筐体形式で提供されます。
インクリメンタル測定システムでは、固定のゼロ点を定義するためにリファレンスマークが必要です。マークはインクリメンタルトラックの隣にあるリファレンストラック上に配置され、センサーによっても読み取られます。
リファレンスマークは、目盛りと同期していれば任意の位置と個数で配置可能です。マーク間の最小距離は 1.5 mm、インクリメンタルトラックの端からは少なくとも 2 mm の距離を取る必要があります。
標準の解像度は 0.1 μm で、1 μm または 10 μm もオプションで提供されます。0.1 μm 解像度では、単方向精度 ±0.1 μm、双方向精度 ±0.2 μm を保証します。
アナログ出力(1 Vss / 120 Ω)とデジタル出力(TTL / RS 422規格)があります。
インターフェースモジュールをセンサーの近くに配置できない場合、延長セットを使用できます。センサーとモジュール間には 250 mm、400 mm、600 mm のフレキシブルフラットケーブル(FFC)を使用し、アダプターボードが付属しています。
分解能
0.1 μm
精度
1000 mm まで= +/- 5 μm
繰り返し精度
一方向 = +/- 0.1 μm
二方向 = +/- 0.2 μm
スケール仕様
ピッチ 100 μm
スケール最長寸法1000mm(但しレールサイズにより異なる場合があります)
熱膨張係数11.7 x 10-6K-1
レール
幅 7, 9, 12, 15 および 14, 18, 24, 42 mm
精度等級 G1
プリロード分類 V1
最大長は980~1000 mmのビルトサイズに依存
速度
5 m/s (アナログ)
3.2 m/s (デジタル)
加速度
最大300 m/s² (30 g)
供給電圧
5 VDC +/- 5 % @70 mA
出力信号
アナログ:1Vpp (120 Ωの時)
デジタル:RS422によるTTL
センサー・インタフェース
フレキシブルPCB 、9ピンZIFコネクタ(0.5 格子ピッチ)付き。合計長 67 mm、許容曲げ半径 2
インタフェース
Dサブ 9ピンコネクタ
RoHS適合
適合済み
EMV
EN 61000-6 規格に対応
環境的影響
動作温度:-40° ~ 70° C (-40° ~ 158° F)
保管温度:-40° ~ 100° C (-40° ~ 212° F)
湿度:10 % ~ 70 % (結露なきこと)
磁気作用: 影響なし
真空: 不可
クリーンルーム: クリーンルーム分類 ISO 7 または ISO 6 (ISO 14644-1に従う)
静電気:ESD保護が必要
デジタルおよびアナログ計測システムにより、正確な線形動作が可能で、製品誤差を最小にします。
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| タイプ AMSA 3B | タイプAMSD 3B | タイプAMSA 4B | タイプ AMSD 4B | タイプ AMSABS 3B | タイプ AMSABS 4B | タイプAMSA 3L | タイプ MINISCALE PLUS | タイプ MINISLIDE MSQscale | |
| 詳細 | 詳細 | 詳細 | 詳細 | 詳細 | 詳細 | 詳細 | 詳細 | ||
| 磁気抵抗式 | |||||||||
| 光学式 | |||||||||
| モノレールMRに搭載可能 | |||||||||
| モノレールBM に搭載可能 | |||||||||
| ミニレールに搭載可能 | |||||||||
| インクリメンタル測定法 | |||||||||
| アブソリュート測定法 | |||||||||
| MSQに搭載可能 |
| タイプ | ||
| レール幅 (mm) | キャリッジ | バージョン |
| MN 7 | MNNS SCP 7 | ショート |
| MNN SCP 7 | 標準 | |
| MNNL SCP 7 | ロング | |
| MNNXL SCP 7 | エクストラロング | |
| MN 9 | MNNS SCP 9 | ショート |
| MNN SCP 9 | 標準 | |
| MNNL SCP 9 | ロング | |
| MNNXL SCP 9 | エクストラロング | |
| MN 12 | MNNS SCP 12 | ショート |
| MNN SCP 12 | 標準 | |
| MNNL SCP 12 | ロング | |
| MNNXL SCP 12 | エクストラロング | |
| MN 15 | MNNS SCP 15 | ショート |
| MNN SCP 15 | 標準 | |
| MNNL SCP 15 | ロング | |
| MNNXL SCP 15 | エクストラロング | |
| MN 14 | MNN SCP 14 | 標準 |
| MNNL SCP 14 | ロング | |
| MN 18 | MNN SCP 18 | エクストラロング |
| MNNL SCP 18 | ロング | |
| MN 24 | MNN SCP 24 | 標準 |
| MNNL 24 | ロング | |
| MN 42 | MNN SCP 42 | 標準 |
| MNNL SCP 42 | ロング | |





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