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MINISCALE PLUS – 超小型スペースでのガイドと測定

MINISCALE PLUSは、高精度かつ信頼性の高い距離測定を実現します。 MINIRAILプロファイルレールガイドに統合され、加工プロセス中の直接測定によりアッベ誤差を低減します。高速・高加速度向けに設計され、高度なハイテク用途で優れた性能を発揮します。

設置スペースは限られていますが、精度に妥協は不要です。

MINISCALE PLUS – 距離測定システムを内蔵したミニチュアガイドウェイ

MINISCALE PLUSは、実績のあるMINIRAILプロファイルレールガイドと、距離測定システムを一体化したコンパクトなアセンブリです。ラインナップには8種類のレール幅(サイズ7~42)があり、すべてのキャリッジサイズと組み合わせ可能です。MINISCALE PLUSは、一貫した精度と信頼性を備えています。測定は加工工程中に直接行われるため、アッベ誤差を大幅に低減します。

特長と利点

  • 設計負担の軽減
  • 設置・調整作業の軽減
  • 一貫した精度
  • 高い耐久性

技術データ

タイプ  
レール幅 (mm) キャリッジ バージョン
MN 7 MNNS SCP 7 ショート
MNN SCP 7 標準
MNNL SCP 7 ロング
MNNXL SCP 7 エクストラロング
MN 9 MNNS SCP 9 ショート
MNN SCP 9 標準
MNNL SCP 9 ロング
MNNXL SCP 9 エクストラロング
MN 12 MNNS SCP 12 ショート
MNN SCP 12 標準
MNNL SCP 12 ロング
MNNXL SCP 12 エクストラロング
MN 15 MNNS SCP 15 ショート
MNN SCP 15 標準
MNNL SCP 15 ロング
MNNXL SCP 15 エクストラロング
MN 14 MNN SCP 14 標準
MNNL SCP 14 ロング
MN 18 MNN SCP 18 エクストラロング
MNNL SCP 18 ロング
MN 24 MNN SCP 24 標準
MNNL 24 ロング
MN 42 MNN SCP 42 標準
MNNL SCP 42 ロング

分解能 0.1 μm
精度 1000 mm まで= +/- 5 μm
繰り返し精度 一方向  = +/- 0.1 μm
二方向  = +/- 0.2 μm
スケール仕様 ピッチ 100 μm
スケール最長寸法1000mm(但しレールサイズにより異なる場合があります)
熱膨張係数11.7 x 10-6K-1
レール 幅 7, 9, 12, 15 および 14, 18, 24, 42 mm
精度等級 G1
プリロード分類 V1
最大長は980~1000 mmのビルトサイズに依存
速度 5 m/s (アナログ)
3.2 m/s (デジタル)
加速度 最大300 m/s² (30 g)

電源電圧 5 V DC +/- 5 % @70 mA
出力信号 アナログ:1 Vpp(120 Ω時) デジタル:RS 422規格準拠TTL
センサーインターフェース 9ピンZIFコネクタ付きフレキシブルPCB(0.5 mmピッチ)。全長75 mm、許容曲げ半径 > 2 mm
インターフェースモジュール D-Sub 9コネクタ付きインターフェースモジュール
RoHS対応 はい
EMC EN 61000-6規格準拠
環境条件

動作温度:-40 °C ~ 80 °C (-40 °F ~ 176 °F)
保存温度:-40 °C ~ 100 °C (-40 °F ~ 212 °F)
湿度:10 % ~ 70 %(結露なし)
真空:要相談 クリーンルーム:ISO 7 または ISO 6(ISO 14644-1準拠)
静電気帯電:ESD保護が必要

製品概要 //
タイプ  
レール幅 (mm) キャリッジ バージョン
MN 7 MNNS SCP 7 ショート
MNN SCP 7 標準
MNNL SCP 7 ロング
MNNXL SCP 7 エクストラロング
MN 9 MNNS SCP 9 ショート
MNN SCP 9 標準
MNNL SCP 9 ロング
MNNXL SCP 9 エクストラロング
MN 12 MNNS SCP 12 ショート
MNN SCP 12 標準
MNNL SCP 12 ロング
MNNXL SCP 12 エクストラロング
MN 15 MNNS SCP 15 ショート
MNN SCP 15 標準
MNNL SCP 15 ロング
MNNXL SCP 15 エクストラロング
MN 14 MNN SCP 14 標準
MNNL SCP 14 ロング
MN 18 MNN SCP 18 エクストラロング
MNNL SCP 18 ロング
MN 24 MNN SCP 24 標準
MNNL 24 ロング
MN 42 MNN SCP 42 標準
MNNL SCP 42 ロング

仕様 //
分解能 0.1 μm
精度 1000 mm まで= +/- 5 μm
繰り返し精度 一方向  = +/- 0.1 μm
二方向  = +/- 0.2 μm
スケール仕様 ピッチ 100 μm
スケール最長寸法1000mm(但しレールサイズにより異なる場合があります)
熱膨張係数11.7 x 10-6K-1
レール 幅 7, 9, 12, 15 および 14, 18, 24, 42 mm
精度等級 G1
プリロード分類 V1
最大長は980~1000 mmのビルトサイズに依存
速度 5 m/s (アナログ)
3.2 m/s (デジタル)
加速度 最大300 m/s² (30 g)

電気仕様および環境仕様 //
電源電圧 5 V DC +/- 5 % @70 mA
出力信号 アナログ:1 Vpp(120 Ω時) デジタル:RS 422規格準拠TTL
センサーインターフェース 9ピンZIFコネクタ付きフレキシブルPCB(0.5 mmピッチ)。全長75 mm、許容曲げ半径 > 2 mm
インターフェースモジュール D-Sub 9コネクタ付きインターフェースモジュール
RoHS対応 はい
EMC EN 61000-6規格準拠
環境条件

動作温度:-40 °C ~ 80 °C (-40 °F ~ 176 °F)
保存温度:-40 °C ~ 100 °C (-40 °F ~ 212 °F)
湿度:10 % ~ 70 %(結露なし)
真空:要相談 クリーンルーム:ISO 7 または ISO 6(ISO 14644-1準拠)
静電気帯電:ESD保護が必要


お問い合わせ

電話番号+49 7081 782 0
電子メールアドレスSend an email now
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用途例

最小スペースでガイドと測定を実現

ミニスケールは、スペースが限られていてなおかつ高い精度とプロセス安全性が求められるアプリケーションに最適です。 

ミニスケールが最もよく使用されている分野:

  • バイオテクノロジー
  • 半導体装置
  • ラボオートメーション
  • 医療装置
  • 計量
  • マイクロオートメーション
  • 表面仕上げ
  • 光学産業
  • ロボット産業、ピック & プレース
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SCHNEEBERGER の MINISCALE PLUS 測定システムに関するよくあるご質問

MINISCALE PLUS システムは、センサーが直接キャリッジに統合されており、追加の設置スペースが不要です。別個の長さ測定システムが不要となり、設計の手間を大幅に削減できます。また、本システムはプラグアンドプレイ方式で調整が不要です。

測定は、100 μm ピッチの目盛りがレール表面に直接埋め込まれた構造で行われます。2つのLEDが構造化された表面を照らし、明暗パターンを生成します。センサーはこれらの光学信号を検出し、電気信号に変換し、インターフェースモジュールで処理されます。

インターフェースモジュールは、センサーからの信号を標準化された出力信号に変換するために必要です。アナログとデジタルのインターフェースモジュールがあり、4つの異なる筐体形式で提供されます。

インクリメンタル測定システムでは、固定のゼロ点を定義するためにリファレンスマークが必要です。マークはインクリメンタルトラックの隣にあるリファレンストラック上に配置され、センサーによっても読み取られます。

リファレンスマークは、目盛りと同期していれば任意の位置と個数で配置可能です。マーク間の最小距離は 1.5 mm、インクリメンタルトラックの端からは少なくとも 2 mm の距離を取る必要があります。

標準の解像度は 0.1 μm で、1 μm または 10 μm もオプションで提供されます。0.1 μm 解像度では、単方向精度 ±0.1 μm、双方向精度 ±0.2 μm を保証します。

アナログ出力(1 Vss / 120 Ω)とデジタル出力(TTL / RS 422規格)があります。

インターフェースモジュールをセンサーの近くに配置できない場合、延長セットを使用できます。センサーとモジュール間には 250 mm、400 mm、600 mm のフレキシブルフラットケーブル(FFC)を使用し、アダプターボードが付属しています。

MINISCALE PLUS は高速および高加速度に対応するように設計されており、設置スペースが限られる用途に特に適しています:

  • 医療およびラボ自動化: ピペッティング、分析、診断機器

  • 半導体産業: ボンディング装置、検査システム

  • 光学および計測技術: フォーカスユニット、顕微鏡ステージ

  • ロボティクスおよびマイクロオートメーション: ピックアンドプレースアプリケーション

ガイドと位置測定システムを1つの製品に統合することで、機械レイアウトのスペースを節約し、組立時間を短縮できます。センサーとスケールは保護された位置にあるため、汚れから守られています。シンプルに「Plug & Play」です。

MINISCALE PLUS 測定システムの利点は何ですか? //

MINISCALE PLUS システムは、センサーが直接キャリッジに統合されており、追加の設置スペースが不要です。別個の長さ測定システムが不要となり、設計の手間を大幅に削減できます。また、本システムはプラグアンドプレイ方式で調整が不要です。


MINISCALE PLUS 測定システムはどのように機能しますか? //

測定は、100 μm ピッチの目盛りがレール表面に直接埋め込まれた構造で行われます。2つのLEDが構造化された表面を照らし、明暗パターンを生成します。センサーはこれらの光学信号を検出し、電気信号に変換し、インターフェースモジュールで処理されます。


インターフェースモジュールはなぜ必要ですか? //

インターフェースモジュールは、センサーからの信号を標準化された出力信号に変換するために必要です。アナログとデジタルのインターフェースモジュールがあり、4つの異なる筐体形式で提供されます。


なぜリファレンスマークが必要なのですか? //

インクリメンタル測定システムでは、固定のゼロ点を定義するためにリファレンスマークが必要です。マークはインクリメンタルトラックの隣にあるリファレンストラック上に配置され、センサーによっても読み取られます。


レール上にいくつのリファレンスマークを配置できますか? //

リファレンスマークは、目盛りと同期していれば任意の位置と個数で配置可能です。マーク間の最小距離は 1.5 mm、インクリメンタルトラックの端からは少なくとも 2 mm の距離を取る必要があります。


MINISCALE PLUS システムの解像度と精度は? //

標準の解像度は 0.1 μm で、1 μm または 10 μm もオプションで提供されます。0.1 μm 解像度では、単方向精度 ±0.1 μm、双方向精度 ±0.2 μm を保証します。


MINISCALE PLUS システムの出力信号は? //

アナログ出力(1 Vss / 120 Ω)とデジタル出力(TTL / RS 422規格)があります。


センサーからインターフェースまでの距離は? //

インターフェースモジュールをセンサーの近くに配置できない場合、延長セットを使用できます。センサーとモジュール間には 250 mm、400 mm、600 mm のフレキシブルフラットケーブル(FFC)を使用し、アダプターボードが付属しています。


MINISCALE PLUS はどこで使用されますか? //

MINISCALE PLUS は高速および高加速度に対応するように設計されており、設置スペースが限られる用途に特に適しています:

  • 医療およびラボ自動化: ピペッティング、分析、診断機器

  • 半導体産業: ボンディング装置、検査システム

  • 光学および計測技術: フォーカスユニット、顕微鏡ステージ

  • ロボティクスおよびマイクロオートメーション: ピックアンドプレースアプリケーション


統合の利点は何ですか? //

ガイドと位置測定システムを1つの製品に統合することで、機械レイアウトのスペースを節約し、組立時間を短縮できます。センサーとスケールは保護された位置にあるため、汚れから守られています。シンプルに「Plug & Play」です。


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