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半導体ソリューション

シュネーベルガーの製品にご興味をお持ちいただき、ありがとうございます。お客様のニーズと、私たちの提案できるソリューションに関して、詳しい話し合いができるよう、ご連絡をお待ちしています。お客様のご要望をお聞かせください。

お客様のご要望がどの段階に関するものであるかを問わず、困難な条件下でもお客様のニーズに対応した適切なカスタムソリューションを提案します。


当社のチームは、半導体業界の主要企業と25年以上にもわたり協力をしてきました。非常に短期間の開発期間や増産・減産の要請であっても、完璧な対応をすることができます。

私たちはナノメートルレベルでの安定性、そしてミリ秒レベルの移動と静止性能を実現しています。お客様のニーズを十分に把握した上で、統合的な直動システムソリューションとして具体化します。

POI* における "半導体" 向けの通常仕様

  • 設定:XYTZ または + Z
  • トラベル:最大 600 x 750mm (450mm ウェーハ)
  • 精度:≤ 1 µm (TIR 超の場合、マップ済み)
  • 再現性:≤ 0.1 µm
  • 安定性:≤ 2 nm (1s ptp 内)
  • 移動および停止:< 100ms (25mm の場合)
  • Cst 速度:< 0.01% (<100mm/s の場合)
  • 真直度:< 5um (TIR 超の場合)
  • 平面度:< 5um (TIR 超の場合)

*Point Of Interest

Systems 映画

お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。

当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

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Maurice Bastings


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Roggwil (スイス):
シュネーベルガーの本社、ビジネスユニット本部

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