SCHNEEBERGER定位系统中的CFRP(碳纤维增强复合材料)组件

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定位系统中的CFRP(碳纤维增强复合材料)组件

SCHNEEBERGER针对晶片生产开发了定位系统。为了满足最苛刻的客户需求,SCHNEEBERGER开发出了一系列CFRP组件解决方案。其中一个例子就是新的双台架系统。该系统的亮点在于车轴设计和复合材料的使用。相对于先前的系统,其定位速度加倍。

CFRP在高动态精密轴中的使用

在洁净室中,通过硅晶片(晶圆)上的光刻层结构制造芯片。
为了确保质量,在制造过程中定期进行严格的尺寸检验(晶片计量)。测量精度可达到<20nm。
晶片可在测量仪器下,借助定位系统来移动。定位系统的开发和生产是系统业务部的任务。

Systems 电影

お客様の要件:
高い信頼性と高い精度の製品。

当社のソリューション:
統合コントロールユニットを備えた短軸から高度に複雑なマシンまで対応します。

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

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CFRP组件的优点

  • 降低30%的移动质量
  • 部件的比刚度提高了2.5倍
  • 系统的第一固有频率提高40%备注:此句与上句合并了
  • M&S时间(起动和整定时间)减少了30%
  • 符合部件公差要求(如平行度)
  • 可保证系统功能(例如漂移)

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