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定制化解决方案

无论属于哪个行业,我们都能将严苛的运动控制需求转化为优化的客户定制解决方案,在性能与成本之间实现最佳平衡。

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面向半导体行业的实际真空平台示例
面向半导体行业的实际真空平台示例

下表总结了我们定制化精密运动系统的典型性能特征。

根据具体应用需求,这些系统可针对尺寸、精度、动态性能以及环境兼容性进行设计,以满足高性能、洁净室和真空应用的严苛要求。

关键性能指标(典型范围)

参数典型性能
尺寸从几毫米到数米
定位精度500 mm 行程范围内 < 0.5 µm
重复精度通过应用专用补偿实现 < 50 nm
移动及稳定时间数十毫米移动仅需数十毫秒,稳定时间内达到 < 10 nm
抖动可低至皮米级
洁净度兼容 ISO 1 级洁净室环境
真空兼容性可达 10⁻⁷ mbar
磁场扰动非重复性扰动 ≤ 1 µT

 - 实际性能取决于系统配置和具体应用要求。

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