Die folgende Tabelle fasst die typischen Leistungsmerkmale unserer kundenspezifischen Präzisionsbewegungssysteme zusammen.
Je nach Anwendung können diese Systeme so ausgelegt werden, dass sie höchste Anforderungen hinsichtlich Größe, Genauigkeit, Dynamik und Umgebungsverträglichkeit erfüllen – entscheidende Faktoren für Hochleistungs-, Reinraum- und Vakuumanwendungen.
Wichtige Leistungsmerkmale (typische Bereiche)
Parameter | Typische Leistungsfähigkeit |
| Abmessungen | Von wenigen Millimetern bis zu mehreren Metern |
| Positioniergenauigkeit | < 0,5 µm über 500 mm Verfahrweg |
| Wiederholgenauigkeit | < 50 nm durch anwendungsspezifische Kalibrierung |
| Verfahr- und Einschwingzeit | Einige zehn Millisekunden für Verfahrwege von einigen zehn Millimetern, einschließlich Einschwingzeit auf < 10 nm |
| Jitter | Bis in den Pikometerbereich |
| Reinheit | Kompatibel mit Reinraumumgebungen der ISO-Klasse 1 |
| Vakuumtauglichkeit | Bis zu 10⁻⁷ mbar |
| Magnetische Störungen | Nicht reproduzierbare Störungen ≤ 1 µT |
- Die tatsächliche Leistung hängt von der Systemkonfiguration und den Anwendungsanforderungen ab.