Les composants PRFC dans les systèmes de positionnement SCHNEEBERGER

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Les composants PRFC dans les systèmes
de positionnement

SCHNEEBERGER développe des systèmes de positionnement pour leur utilisation dans la production de wafers. Les exigences toujours plus impérieuses de la clientèle ont poussé SCHNEEBERGER à élaborer différentes solutions avec les composants PRFC. Le nouveau système à double portique en est un exemple. Ses points forts sont la disposition de l'axe et l'utilisation de matériaux composites. Ainsi, les vitesses de positionnement sont doublées par rapport aux anciens systèmes.

Les PRFC dans les axes de précision hautement dynamiques

La fabrication de puces électroniques est effectuée sur une structure lithographique à couches sur une plaque de silicium (wafer) dans la salle blanche.
Pour des raisons de qualité, les dimensions des pièces critiques sont régulièrement contrôlées pendant le processus de fabrication (méthodologie wafer). Ces mesures contrôlent des dimensions <20nm.
Pour cela, le wafer est déplacé sous l'instrument de mesure au moyen d'un système de positionnement. Les systèmes de la Business Unit se chargent du développement et de la fabrication de ces systèmes de positionnement.

Systèmes film

Les exigences de nos clients :
des produits fiables et précis.

Notre solution :
des systèmes sur mesure, qu'il s'agisse d'axes simples à unités de commande intégrées ou de machines ultracomplexes.

SCHNEEBERGER overview linear bearings and positioning systems

Article/Example of application

Communiqués de presse

  • New positioning system doubles positioning speed for 450 mmRevolutionary double gantry from Schneeberger. Known for innovation, Swiss firm Schneeberger AG Lineartechnik is currently developing a new positioning system that will bear the name Double Gantry.
  • Systèmes de positionnement Schneeberger Des systèmes de positionnement à haut degré de pureté adaptés aux besoins des clients. Les systèmes de positionnement, utilisés dans des branches de l'industrie particulièrement exigeantes comme l'industrie des semi-conducteurs et les technologies mises en œuvre pour les équipements médicaux ou solaires, doivent garantir un degré extrême de précision et de fiabilité tout en remplissant les exigences extrêmement strictes en matière de degré de pureté.
  • Des systèmes de positionnement à haut degré de pureté adaptés aux besoins des clientsLes systèmes utilisés dans des branches plus divers de l'industrie doivent garantir un degré extrême de précision et de fiabilité tout en remplissant les exigences extrêmement strictes.

Les avantages des composants PRFC

  • Masse déplacée réduite de 30 %
  • Rigidité spécifique des éléments multipliée par 2,5
  • Fréquence propre du système 40 % plus élevée
  • Temps de déplacement et de positionnement (Move & Settle Time) réduit de 30 % 
  • Les tolérances obligatoires des éléments sont respectées (par ex. parallélisme)
  • Les spécifications du système peuvent être respectées avec fiabilité (par ex. dérive)

Contact:

Adrian Raible


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Roggwil (Suisse):

Siège social de la société SCHNEEBERGER,

siège de l'entité opérationnelle

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