반도체-산업 | SCHNEEBERGER

반도체 장비의 성능은 위치 결정 정확도, 열적 안정성, 진동 거동 및 장기적 신뢰성으로 결정됩니다.

슈네베르거(SCHNEEBERGER)는 웨이퍼 공정, 검사, 계측 및 첨단 패키징 장비 전반에 걸쳐 가장 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 통합형 리니어 모션, 계측 및 구조 솔루션을 제공합니다.

당사는 반도체 OEM 업체들이 시스템 아키텍처를 간소화하고, 오차 누적을 줄이며, 장비의 전체 수명 주기 동안 안정적이고 반복 가능한 성능을 달성할 수 있도록 지원합니다.

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당사의 반도체 전문가와 상담하여 귀사의 애플리케이션 요구 사항, 통합 전략 또는 맞춤형 시스템 필요 사항을 논의해 보십시오.

핵심 반도체 솔루션 역량

통합 모션 + 측정
가이던스와 위치 피드백을 기계 축에 직접 통합하여 공차 누적을 줄이고, 열적 거동을 개선하며, 기계 설계를 단순화합니다.
진공 솔루션 및 클린룸 대응
고진공 환경 및 오염에 민감한 공정을 위한 클린룸 운영과 호환되는 솔루션을 제공합니다.
열적 및 동적 안정성
변화하는 공정 조건에서도 일관된 정밀도를 유지하도록 설계된 기계적, 열적으로 안정적인 구조를 제공합니다.
시스템 수준의 전문성
개별 구성품부터 완전한 다축 시스템까지, OEM 사양에 맞춰 설계, 조립 및 검증된 솔루션을 제공합니다.

다운로드 / 제품 카탈로그

Branche_Halbleiter.pdf Automated assembly systems with high positional accuracies guarantee the vibration free running of SCHNEEBERGER MINIRAIL.지금 다운로드

The secret of linear technolgy From standard components to complete systems, SCHNEEBERGER offers a unique spectrum of products and services. And we do it all for our customers’ benefit.지금 다운로드

Linear technology combined with integrated measuring system and mineral casting Combining linear technology with mineral casting offers unbeatable customer benefits.지금 다운로드

정밀 위치 결정 시스템 및 다축 솔루션

슈네베르거(SCHNEEBERGER)는 단일 핵심 축부터 완전히 통합된 다축 서브시스템에 이르기까지, 반도체 장비용 고객 맞춤형 정밀 위치 결정 시스템을 설계 및 공급합니다.

측정 기능이 통합된 정밀 유도

MINISAM이 장착된 MINIRAIL – 절대 측정 기능을 갖춘 초소형 가이드, 분해능 100 nm 사용 가능 인터페이스 포트: BiSS/SSI, ABZ, UVW, SPI, 아날로그 Sin/Cos
MINISCALE PLUS / MSQScale이 장착된 MINIRAIL – 증분 측정 기능을 갖춘 초소형 가이드, 분해능 0.1 μm까지
MONORAIL AMS – 자기 저항 인코더가 내장된 리니어 가이드, 아날로그 또는 디지털 인터페이스, 레일당 최대 3m 이송 거리, AMS Long으로 무제한 이송 거리 구현

LUBE-S를 통한 장기 윤활

MINIRAIL -LUBE-S – 일반 조건 및 규정된 하중에서 최대 20,000km까지 무보수 작동. 캐리지 치수 및 성능은 변경되지 않음
일반적으로 SCHNEEBERGER는 다음과 같은 애플리케이션을 위한 다양한 맞춤형 윤활제를 제공합니다:
- 식품 및 의료 기술 산업
- 고속 또는 저온 애플리케이션
- 클린룸 환경
- 진공 솔루션
- 단거리 스트로크 애플리케이션