적용 분야에 따라 이러한 시스템은 크기, 정밀도, 동특성 및 환경 적합성 측면에서 매우 까다로운 요구사항을 충족하도록 설계될 수 있으며, 이는 고성능, 클린룸 및 진공 응용 분야에서 중요한 요소입니다.
| 항목 | 일반적인 성능 |
|---|---|
| 크기 | 수 mm에서 수 m까지 |
| 위치 결정 정확도 | 500 mm 이동 거리 기준 < 0.5 µm |
| 반복 정밀도 | 응용 분야별 보정을 통해 < 50 nm |
| 이동 및 안정화 시간 | 수십 mm 이동 시 수십 ms, 안정화 < 10 nm |
| 지터 | 피코미터 수준까지 가능 |
| 청정도 | ISO Class 1 클린룸 환경 지원 |
| 진공 적합성 | 최대 10⁻⁷ mbar |
| 자기 교란 | 비반복성 교란 ≤ 1 µT |
- 실제 성능은 시스템 구성과 적용 요구사항에 따라 달라질 수 있습니다.
![[Translate to Koreanisch:]](/fileadmin/_processed_/7/8/csm_01_2026_KCS_KCN_Slider_3a6c4c2bf4.jpg "리니어 가이드 성능을 한 단계 더 높이십시오")
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