根据具体应用需求，这些系统可针对尺寸、精度、动态性能以及环境兼容性进行设计，以满足高性能、洁净室和真空应用的严苛要求。
| 参数 | 典型性能 |
|---|---|
| 尺寸 | 从几毫米到数米 |
| 定位精度 | 500 mm 行程范围内 < 0.5 µm |
| 重复精度 | 通过应用专用补偿实现 < 50 nm |
| 移动及稳定时间 | 数十毫米移动仅需数十毫秒，稳定时间内达到 < 10 nm |
| 抖动 | 可低至皮米级 |
| 洁净度 | 兼容 ISO 1 级洁净室环境 |
| 真空兼容性 | 可达 10⁻⁷ mbar |
| 磁场扰动 | 非重复性扰动 ≤ 1 µT |
- 实际性能取决于系统配置和具体应用要求。
High precision meets minimal space: When traditional encoder feedback is not enough and there’s no room for external measuring systems, integrated…
Read article![[Translate to Chinesisch:]](/fileadmin/_processed_/4/d/csm_1772708770902_cef9be5901.jpeg "ROTARY CLUB Langenthal visits SCHNEEBERGER")
This week, we welcomed the Rotary Club Langenthal and numerous partners to our new Plant 3 in Roggwil.
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