真空および超高真空（UHV）用途向けモーションソリューション

当社のポートフォリオは、精密コンポーネントから完全統合型の受注設計モーションシステムまで幅広く、厳しい真空環境下でも高い信頼性を発揮できるよう設計されています。

半導体製造においては、電子線（E-Beam）検査、リソグラフィ、計測などの重要な工程を支えており、極めて高い位置決め精度、長期安定性、低アウトガス性、および最小限の磁気外乱が求められます。豊富なアプリケーション知識を活かし、真空適合性、清浄性、熱安定性、ナノメートルレベルの性能要件を満たすモーションシステムを開発しています。

同様の技術は、分析装置や研究設備などのライフサイエンスおよび材料科学分野にも応用されており、真空環境下での精密な動作が再現性と信頼性の高い結果を実現します。厳選された材料、最適化されたシステムアーキテクチャ、統合メカトロニクスおよび制御技術を組み合わせることで、SCHNEEBERGERは単軸から完全統合システムまで、用途に特化した堅牢な真空ソリューションを提供し、予測可能な性能と長期的な信頼性を実現します。