SCHNEEBERGER 제품에 관심을 가져주셔서 대단히 감사합니다. 귀하의 요구와 당사가 제안한 솔루션에 대해 더 논의하려면 언제든지 연락주시기 바랍니다. 귀하의 요청을 보내주시면 답변해 드리겠습니다.
EUV, 탈가스, 펌프 시간, 안정성 및 자기 교란은 진공 시스템의 배치 중 고려되는 주요 매개변수입니다. 다른 모든 주요 매개변수에 더하여 이것은 귀하의 까다로운 환경 및 성능에 대한 완벽한 이동 솔루션과 관련되어 있습니다.
당사의 시스템은 리니어 모터부터 피에조 구동 장치 및 특수 케이블에 이르는 특정 부품을 통합하여 10^-9 mbar 의 분압에서 운영이 가능하도록 특수 개발되었습니다.
청결 수준을 유지하고 탈가스를 완벽하게 제어하기 위해 모든 관련 기계 부품(알루미늄 및/또는 SUS)은 내부적으로 생산됩니다.
모든 진공 시스템은 당사의 클린룸에서 조립, 시험 및 포장되며 특히 귀하의 생산 리듬에 맞춰 배치됩니다.
